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步进电动机高精度细分方法及其控制系统 叶韦韦 华南师范大学电信工程系 99 级 引 言 本论文题目来自对现有椭偏仪进行技术改进工作中的“用步进电机取代传 统直流减速电机”的研究课题。椭圆偏振测量技术是一种测量薄膜厚度和研究其 表面特性的先进方法，具有灵敏度高、精度高、实时和无损样品的优点。在半导 体、光学材料、表面物理、化工、冶金、生物和医学等领域都有重要应用。 传统的椭偏仪由于使用了直流电机，在定位过程中存在自动化水平低、操 作复杂、精度难以保证和成本高（因需要配高精度光电旋转编码器）等不足，为 提高椭偏仪的定位精度和自动化水平，研制出一种高精度自动定位系统无疑具有 十分重要的意义。 本系统采用步进电机代替直流电机，但现有步进电机的最小步距角还未能 达到本系统的要求，所以要在步进细分技术上作探讨。利用步进电机的准确动作 和步进电机的细分技术，解决椭偏仪的角度与光强必须准确对应关系的问题。其 中，当步进电动机的细分角度越小，越有利于提高步进电动机的角位、点位及连 续控制方面的定位精度，越有利于与计算机联机，实现全自动化控制。同时，还 可以大大提高步进电机的分辨率，大大改善步进电动机在动态运转时的特性。 由于工业技术的不断进步，在自动化控制、精密机械加工、航空航天技术以 及所有要求高精度定位、自动记录、自动瞄准等高新技术领域内，对步进电机的 细分要求也越来越高。 因此，多年来，国内外的同行都在努力寻求步进电动机细分技术的最佳方 案及最高细分精度。本文所介绍的自动定位系统是在原椭偏仪系统的前提下，采 用步进电机计算机细分控制技术建立起来的。 一． 一． 步进电机的基本原理 步进电机作为执行元件，是机电一体化的关键产品之一, 广泛应用在各种自动化控制系 统中。随着微电子和计算机技术的发展，步进电机的需求量与日俱增，在各个国民经济领域 都有应用。 步进电机是一种将电脉冲转化为角位移的执行机构。当步进驱动器接收到一个脉冲信 号，它就驱动步进电机按设定的方向转动一个固定的角度(称为“步距角”)，它的旋转是以固 定的角度一步一步运行的。可以通过控制脉冲个数来控制角位移量，从而达到准确定位的目 的；同时可以通过控制脉冲频率来控制电机转动的速度和加速度，从而达到调速的目的。步 进电机可以作为一种控制用的特种电机，利用其没有积累误差(精度为 100%)的特点，广泛 应用于各种开环控制。 现在比较常用的步进电机包括反应式步进电机（VR ）、永磁式步进电机（PM ）、混合式 步进电机（HB ）和单相式步进电机等。 永磁式步进电机一般为两相，转矩和体积较小，步进角一般为 7.5 度 或 15 度； 反应式步进电机一般为三相，可实现大转矩输出，步进角一般为 1.5 度，但噪声和振动 都很大。反应式步进电机的转子磁路由软磁材料制成，定子上有多相励磁绕组，利用磁导的 变化产生转矩。 混合式步进电机是指混合了永磁式和反应式的优点。它又分为两相和五相：两相步进角 一般为 1.8 度而五相步进角一般为 0.72 度。这种步进电机的应用最为广泛，也是本次细分 驱动方案所选用的步进电机。 步进电机的一些基本参数： 电机固有步距角： 它表示控制系统每发一个步进脉冲信号，电机所转动的角度。电机出厂时给出了一个步 距角的值，如 86BYG250A 型电机给出的值为 0.9°/1.8° （表示半步工作时为0.9°、整步工作 时为 1.8°），这个步距角可以称之为‘电机固有步距角’，它不一定是电机实际工作时的真正 步距角，真正的步距角和驱动器有关。 步进电机的相数： 是指电机内部的线圈组数，目前常用的有二相、三相、四相、五相步进电机。电机相数 不同，其步距角也不同，一般二相电机的步距角为 0.9°/1.8°、三相的为 0.75°/1.5°、 五相的为 0.36°/0.72° 。在没有细分驱动器时，用户主要靠选择不同相数的步进电机来 满足自己步距角的要求。如果使用细分驱动器，则‘相数’将变得没有意义，用户只需在驱 动器上改变细分数，就可以改变步距角。 保持转矩（HOLDING TORQUE ）： 是指步进电机通电但没有转动时，定子锁住转子的力矩。它是步进电机最重要的参数 之一，通常步进电机在低速时的力矩接近保持