空气洗涤器在洁净空调中的使用.pdfVIP

引用:千级洁净棚 /qianjijiejingpeng/ 超薄FFU风机过滤单元/ffufengji/ 层流送风天花/songfengtianhua/ 2009年3月 洁净s空调技术CC＆AC 第 1期 空气洗涤器在洁净空调中的使用 恩宜珐玛 (天津)工程有限公司上海分公司 毕 峰 文 摘 通过对一工程改造的实例分析，阐明了空气洗涤器在新风空调箱中的作用及其工作原理，肯定了它在 处理部分化学气态污染物的作用。 关键词 空气洗涤器；AMC污染物；干冷盘管；新风空调箱 TheuseofAirWasherinCleanAirConditioningUnit BiFeng Abstractclarifyingthefunctionandprincipleofairwashersectionofmake—upairunitthroughonemodification projectnaalyzing，mkaeasurethatitisavailableforabsorbingthehydrophilicAMC． KeywordsAirwasher；AMC；Drycoolingcoil；Mkae—upairunit 1 概况 (AirWasher)。顾名思义，首先该化学污染物应 随着超大规模集成电路工业厂房的发展，空气 该易溶于水，并与水能有一定的稳定性，AMC中的 中能够危害产品生产质量，引起产品成品率降低的 NH 、SOx和HC1能满足此要求。通过实验表明， 因素不仅仅是空气中需进一步控制的粒子的尺寸及 理想状态的SOx及NH 的清除效率为85％，而H^S 粒子数，而且化学污染物的控制也已经越来越引起 和其他一些有害的有机气体等清除效率几乎为零。 重视。这种化学污染物质被称为 “分子级污染物” 因此我们认为使用空气洗涤器对化学污染物的清除 (英文为 “AMC”，全称为AirborneMolecular 是有针对性和局域性的。由于这些大规模集成电路 Contamination)。在 国际半导体设备与材料协会 工业厂房往往建址比较邻近，该区域空气中所含有 (SEMI)中将AMC分为四类，即酸性、碱性、 的NH、SO，、NOx、HCI等气体含量就比其他地 可凝性和掺杂性 。空气中的AMC包括多种有害气体 方偏高，若不将这些气体事先做一些处理，则这些 和金属离子，属于酸性的有HF、SO、HC1、NOx 气体便可能进入洁净室内，从而对产品产生影响。 等；属于碱性的有NH 、CH，NH，等；可凝性是 指在常温常压下能在lT净表面凝结的气相物质，如 2 工程案例及分析 有机气体、碳氢化合物等；掺杂性是指能够改变半 2002年在上海浦东有一晶圆厂，原来的新风空 导体材料的化学物质，如硼、磷、钾、钠、钙和各 调箱没有安装空气洗涤器，加湿采用干蒸汽加湿 种金属离子等。清除这些化学污染物质，有很多方 器。在以后的生产试运行中，在洁净室内发现NH。 法，除了直接使用有针对性的价格昂贵的化学过滤 和硫的气体明显超标，影响了产品的合格率，最后 器外，还有一种方法已经得到了越来越多的使用， 决定对部分关键洁净区的新风空调箱进行改造，增 那就是可以对空气进行洗涤和加湿的空气洗涤器 加空气洗涤器，并且拆除了原有的干蒸汽加湿器。 由于空气处理的过程与原有的系统有很大的不同， ；l：毕峰，l970年出生，大学毕、I，高级工程师 因此在尽量维持原有系统的前提下，进行了系统的 200061，上海I订普陀区中潭路 100弄68号2702窜 局部改进。其 i-d图如图1所示。原系统采用了干 139