单晶铜超微细丝的断线分析及制备工艺.pdfVIP

维普资讯 实 用 研 究 种铸造及有色合金 2008年第 28卷第 4期 单晶铜超微细丝的断线分析及制备工艺 丁雨 田 曹文辉 胡 勇 陈卫华 (兰州理工大学甘肃省有色金属新材料省部共建国家重点实验 室) 摘 要 对传统热型连铸单晶铜在拉制超微细丝过程中的断线进行分析 ，表 明铜杆 中 ()、s、H等杂质元素含量过高影响其 拉制性能。针对高温熔融金属防氧化及除杂净化要求 ，引入横引式真空熔炼氩气保护定向凝 固新工艺制备单 晶铜并对其 成分及拉制性能进行测试 。结果表 明，该工艺对熔体的提纯、除杂效果较好 ．能够满足键合丝坯料纯净度高、拉制性能好 的 要求 。 关键词 热型连铸 ；单晶铜 ；超微细丝；真空熔炼 ；断线 中图分类号 TG249．7；TGI46．1 1 文献标志码 A 文章编号 100l一2249(2008)04—0261—04 随着硅晶片上铜金属化工艺的发展 ，金丝作为主要 键合丝材料的缺点 日益突出。铜由于其高的电导率，优 良的热学和力学性能，可以提高芯片集成度，提高时钟 频率降低功耗 ，适应低成本、细间距 、高引出端元器件封 装的发展 ．成为替代传统键合丝的最佳材料 。目前 ，用 连铸法和连铸连轧工艺生产的无氧铜杆易出现夹渣 、表 面质量差 、内部孔隙率高 、氧含量高 、缩孔等铸造缺陷， 物理和力学性能较差 ，很难满足超微细键合丝对坯料的 要求 。采用连续定 向凝固技术制备 的铸态单 晶铜杆 由 (a)解 理 断裂 形貌 (b)微 气孔 中心 断裂 形貌 图 l 微气孔 中心爆裂断 口形貌 于消除了横向晶界，在静拉伸、单 向扭转 、导电性等方面 表现出良好的塑性加工和 电学性 能l】 ，是拉制超微细 扩展到边沿。图 1b中在孔洞 的内壁呈较为光滑的自由 表面，表明在熔炼过程 中气体未能及时逸 出，被保存在 铜键合丝的理想材料 。但是，在工业生产 中对传统热型 铸杆 内部形成 缺陷。在拉制过程 中，由于微 气孔的存 连铸单晶铜的拉制效果并不理想，尤其在超微细线拉制 在 ，使得铜丝在此处存在很大 的应力集 中，随着外加应 中，断线率较高 、单根丝材的长度达不到使用要求 ，难以 力的增加，拉制线径逐渐变小 ，铜线 的塑性变形程度增 制备出线经一致 、硬度均匀的超微细丝 。本课题拟在分 大 。但是由于微气孔 区域与基体部分 的塑性变形能力 析传统热型连铸单晶铜拉制超微细丝断线的基础上 ，提 存在很大差异，微气孔与位错相互作用使变形更加困难 出一种新型的热型连铸工艺。 并存在严重的应力集 中，最终导致基体与气孔相脱离 ， l 传统热型连铸单晶铜拉制超微细丝断 基体区域发生典型的纯金属韧性断裂 ，而微气孔周围发 线分析 生脆性准解理断裂 ．引起铜丝的早期断线。在拉制线材 的过程中，当足够的轴 向静拉伸力作用时 ，线材 中的微 断线取 自传统热型连铸单 晶铜在拉制超微细丝 中 气孔便聚集到一起而形成裂缝 。显微裂缝 的存在导致 的断线 ，用 SEM 和 EDS对断 口进行形貌和成分分析。 断裂，并在拉应力作用下阻止了截面