不同Ti靶电流对Ti掺杂类石墨碳膜的结构和性能的影响（英文）.pdfVIP

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2015-08-13 发布于江西
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不同Ti靶电流对Ti掺杂类石墨碳膜的结构和性能的影响（英文）.pdf

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中国有色金属

Availableonlineat＼^n^n^，．sciencedirect．com ， Transactionsof · ScienceDirect NonferrousM etals 黉 SocietyofChina Press Trans．NonferrousMet．Soc．China22(2012)1372—1380 www ．tnm sc．cn InfluenceofTitargetcurrentonmicrostructureand propertiesofTi--dopedgraphite--likecarbonfilms WANGYong．xin一，WANGLi．ping，XUEQun-ji 1．StateKeyLaboratoryofSolidLubrication，LanzhouInstituteofChemicalPhysics， ChineseAcademyofSciences，Lanzhou730000，China； 2．GraduateUniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100039，China Received28June2011；accepted5September2011 Abstract：Ti—dopedgraphite—likecarbon(Ti—GLC)filmsweresynthesizedsuccessfullybymagnetronsputteringtechnique．The compositions，microstructuresandpropertiesoftheTi—dopedGLC filmsdependentontheparameterofTitargetcurrentwere systemicallyinvestigatedbyRamanspectra，X—rayphotoelecrtonspectroscopy(xPs)，x—raydiffraction(XRD)，scanningelecrton microscopy(SEM)．atomicforcemicroscopy(AFM)．nanoindentationandbal1．on．disktribometer．WiththeincreaseoftheTitarget current．theratioofsp bondandthecontentofTiaswellasthefilm hardnessandcompressiveinternalsrtessincrease．butthehigh contentoftheTiwouldresultintheloosefilm duetotheformationofthesquamosestructure．LessincorporatedTireducesthe frictionoftheGLC film indry—slidingcondition，whilepureGLC film exhibitshtelowestfriction