氮化铝陶瓷低温烧结过程中的液相迁移与表层晶粒生长.pdfVIP

维普资讯 第 14卷第 11期 中国有色金属学报 2004年 11月 Vol_14No．11 TheChineseJournalofNonferrousMetals NOV． 2004 文章编号 ：1004—0609(2004)11—1828—05 氮化铝陶瓷低温烧结过程 中的液相迁移与表层晶粒生长① 傅仁利 ，杨克涛 ，熊党生 ，乔 梁。，周和平。 (1．南京航空航天大学 材料科学与技术学院，南京 210016； 2．南京理工大学 材料科学与工程系，南京 210094； 3．清华大学 新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京 100084) 摘 要 ：对Y —CaF烧结助剂体系的氮化铝(A1N)低温烧结过程中液相向表面迁移的现象和表层晶粒生长进 行了研究，同时分析讨论了液相迁移的机制。A1N低温烧结过程中液相 向表面的迁移，有利于减少晶界相，提高 其热导率。然而，液相向表面过量迁移和富集则导致了表层晶粒的异常生长，坯体 内部由于缺乏液相烧结助剂不 能实现致密化，这一现象也造成陶瓷基板的翘 曲。A1N陶瓷坯体在烧结起始阶段 的快速收缩和坯体 内部 A1N晶 界两面角大于 72．5。都有助于液相向表面迁移。低温烧结后陶瓷表面的主要物相是A1N和Y 0。，Y0。的出现并 被碳热还原生成 可挥发 的 YN可 能是表 面呈现蓝 紫色 的原 因。表 面 Y ()3的产生 与钇 铝酸盐 (Y。A10 ， Y A1z0 )液相迁移至 A1N陶瓷表面并与炉 中碳气氛发生碳热还原有关 。 关键词 ：低温烧结；液相迁移；晶粒生长；氮化铝 中图分类号：TB321；TQ174．1 文献标识码 ：A M igrationofliquidphaseandgraingrowthin low’-temperaturesinteringofAIN FU Ren—li，YANG Ke—tao ，XIONG Dang—sheng ，QIAO Liang。。ZHOU He—ping。 (1．CollegeofMaterialsScienceandEngineering， NanjingUniversityofAeronauticsandAstronautics，Nanjing210016，China； 2．DepartmentofMaterialsScienceandEngineering， NanjingUniversityofScienceandTechnology，Nanjing210094，China； 3．StateKeyLaboratoryofNew CeramicsandFineProcessing， TsinghuaUniversity，Beijing100084，China) Abstract：TheformationandthemigrationoftheliquidphasetowardsthesurfaceofA1N ceramicsproducedvia low—temperaturesinteringofmixtureofA1N ，YF3andCaF2powders，aswellasthemechanism