X射线能量分辨率与多层膜测量反射率的关系.pdfVIP

中国抖学(G辑) 第33卷第3期 SCIENCEINCHINAr SeriesGl 2003年6月 X射线能量分辨率与多层膜测量 反射率的关系 (上海变通大学物理系，上海 (严十，^ 冯仕猛+。上鑫薹曼理系差墓2珍00240)窦晓鸣。斗A 摘要 x射线能量分辨率大小对多层膜测量反射率有影响理论上分析了入射光能 量分辨率与多层膜测量反射率的关系研究结果表明：入射光为非单色光时，多层膜测 量峰值反射率低于单色光的反射率；但是在非设计波长处，非单色光的反射率大干单 色光反射率；设计波长越短的x射线多层膜，其测量反射率对入射光单色性越敏感；对 确定的多层膜，入射光能量分辨率存在一个极限值，如果能量分辨率小于极限值，多层 膜测量反射曲线是直线，没有反射峰出现． 关键词 多层膜 能■分辨率 卷积 反射光强度 x射线多层膜反射率的测量是多层膜研究中非常重要和必不可少的一步”“，一般用同步 辐射源、X射线管或者用激光等离子体x光源作为测量用的软X光源【1…，其中同步辐射装置 是测量多层膜反射率最常用的实验用光源，但该装置不可能提供绝对的单色光．软X射线多 层膜反射率除了与多层膜材料配对和周期数有关外，多层膜界面粗糙度、周期厚度误差等会极 大降低其峰值反射率和加大其反射率曲线的半峰宽…“”．事实上，多层膜测量反射率也与入 射光单色性高低有关，但还没有见到有文献专门研究多层膜测量反射率与入射光能量分辨率 的关系．对此，本文进行了详细研究．因为一般实验室很难获得完全单色软x射线和确定软x 射线能量分辨率，而且多层膜测量值还要受到其他结构缺陷的影响，故本文只从理论上探讨 人射光能量分辨率对W／Si，Mo／Si多层膜测量反射率的影响．我们通过理论计算获得一些重要 结果，对于对多层膜反射特性的评估和判定多层膜质量的高低是非常有意义的． 1理论分析 对于软x射线多层膜反射率的计算，已经有了比较成熟计算公式和计算机计算程序．在 材料配对、周期厚度、入射角确定的条件下，其反射率是1，五的函数，或者是光子能量E的函 数，即 R=f(113,)=，(E)， (1) 式中R是反射率，^是波长，￡是与波长对应的光子能量．在多层膜反射率测量过程中，入射光 一般不是绝对单色光，光强度在中心波长一定的范围内呈正态分布即 2002—11-0s收藕，20034)3—30收修改稿 ’E-mail：ferLg-shimeng@163．net 中 国 科 学 (G辑 第33卷 ． (一)‘ 5 7b 7一蔬1e E2“Eo， (2) 这里厶是光子能量为E的强度…Im是光子能量为肠光强度．岛是与中心波长对应的光子能量： D是一个常数，它与正态分布函数的半峰宽、岛有关 多层膜始终存在界面粗糙度．在掠入射角、粗糙度确定的条件下德拜公式 (49型sin0F12 w=e L1239852‘J=gf￡1， (3) 式中W是德拜因子，占是界面粗糙度，E是光子能量，0是掠人射角 将入射光正态分布函数、’反射率和德拜因子相乘得反射光强度的分布函数 ． 一f墨二鱼￡ 2a2， (4)