INSB红外探测器及其测试方法.pdf

维普资讯 江 汉 大 学 学 报 第 13卷第 6期 Journa[ofJianghanUniversi~．y VOl-13No．6 1996年 12月 Dec．1996 InSb红外探测器及其测试方法 ]7．、 徐新宋全祥 - F~／z (华 中理工大 学汉 口分校 ) 摘要 ~tLN (inshtf~ l#ef$，是红外探测器的=E要器件，厂泛应用于物体的温度 量．奉文介绍 JInsb 红外探测器的机理与结构 ，井对 i项重要 的性能参数提供丁测试方法． 关键词 lnSb探测器 ：光伏特效应 ：带宽 ：液氰 0引言 j 采次1j器 朗7尤 拳1 锑化铟 (InSb)探测器是利用 内光电效应的光生伏特效应制成的光伏型探测器．属于单晶本征 型的器件，适宜于 3～jm波段 ，工作可释，是红外捡测系统的一个核心部件，主要用于物体表面温 度测量． 1 InSb探测器的机理与结构 1．1 InSb探测器 的机理 一 般 晶体管的 PN 结都被遮蔽起来 ，使它不受光照射 ，以免影响晶体管性能．PN结型光 电器件 则相反 ，特意使它 的PN结受光照射便于获取光能．当光照射到距表面很近 的 IN 结时．结及其 附 近的半导体吸收光能，价带电子受激跃迁至导带形成 自由电子．而在价带则相应地形成 自由空穴． 这些载流子在 PN结 内部 电场作用下 ，电子向N 型侧加速 ，而空穴 向P型侧加速 ，载流子的流动即 为光 电流．结果使半导体的P型侧带正电，N型侧带负电．这就是 PN结受光照射时产生光生 电动 势和光 电流的原理．据此原理制成的红外探测器称为光伏特探测器． 探测器的材料选用JnSb(锑化锢)，它是一种 Ⅲ一V族化合物半导 丰『，在 77K 的禁带宽度为 0． 23电子伏特．由于它的载流子迁移率高 ，适用于 中红外波段 ( 一5．5p．m)具有较 高的灵敏度．采用 的加工工艺是 ：通过熔融法与外延法将半导体制成 晶体 ，然后切片、抛光 、扩散 、氧化、光刻 、腐蚀 、封 装 ，最终得到 lnSb传感器． 1．2 InSb探测器的结构 为了提高 lnSb探测器的灵敏度，采用致冷屏蔽的杜瓦瓶对探 删器进行致冷．由于杜瓦瓶不可 能完全绝热，致冷系境有一个热负载，要保持恒定低温，必须有一定数量的工质补充，带走探测器产 忱稿 H冉l：l906 03一Ol 橡 新 ． 中 工 上学汉 ]【舒校 自电系，；S00l2 维普资讯 78 江汉大学 学报 1996年 第 6期 生的热量呼Ⅱ容器传导的热量．一般使用液氮的杜瓦瓶．液氮气化温度为 4．2K，比重 0．125g／cm ·致 冷能力 0．043w／cm ．该杜瓦瓶热负载约为 0．1～0．5w．特别设计的高效杜瓦瓶热负栽可小到 0．01 ～ O．1w．工质补充最低数量取决于其致玲能力 ，由此可方便地估计热负载 以及工作时间一定时 ·所 需致冷的最低数量． 致冷器采用液态传输致冷．主要 由隔热储液瓶、输液导管和气化杜瓦瓶组成 ．如图 1所示．当致 冷指令到达后．加热器通电加热 ，少量液氮气化 ．隔热储液瓶内压力上升．只要达到 比瓶外气压高 0．O7～0．21kg／cm。时 ，液氮沿输液管道流 向气化杜瓦瓶．在红外探测器处形成低温．实践证明这种 传输导管 的最佳直经是 1．3～2．5ram． ’ ～’ 。 1输液导管