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可调声表面波滤波器的研究进展／黄小锋等 ·355 · 可调声表面波滤波器 的研究进展 黄小锋 ，杨成韬 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 ，成都 610054 摘要 随着移动通信产业的迅猛发展 ，作为通信系统关键器件之一的声表面波滤波器 SAwF 迎来 了新的研 究热潮。可调 SAwF TSF 因其体积小巧、性能卓越，越来越受到重视。简述了SAWF的原理，介绍 了几种主要 TSF 的结构、性能和特点，展望了其今后的发展趋势。 关键词 可调 声表面波 滤波器 ResearchDevelopmentofTunableSurfaceAcousticW aveFilter HUANG Xiaofeng。YANG Chengtao StateKeyLaboratoryofElectronicThinFilmsandIntegratedDevices，UniversityofElectronicScienceand TechnologyofChina，Chengdu610054 Abstract W iththerapidgrowthofmobiletelecommunicationindustry，developmentresearcheswithsurface acousticwavefilter SAWF ，oneofthekeydevicesintelecommunicationsystem，boom again．TunableSAWF TSF hasbeenpaidmoreandmoreattentionstobecauseofitssmallsizeandexellentperformance．Inthispaper，theprinci— pleofSAWF isdiscussedbriefly，afewkindsoftypicalTSFareintroduced，mainlyabouttheirstructures，performances and characters，andTSF sdevelopmenttrendisalsopointedout． Keywords tunable，surfaceacousticwave，filter 波沿着压电基片表面传播 ，在输出IDT上经过压电效应重新转 U 刖 吾 换为电信号输出。SAWF中心频率 _厂。由fo— ／ao决定 ， 移动通信产业的迅猛发展给 SAWF的研究带来了新的热 为中心波长 也等于 IDT周期长度 ，Vs为该压电基片上的声表 潮。在追求高频率 、低插入损耗、高温度稳定性的同时，中心频 面波波速。只有波长与 IDT周期长度相近的波才能通过滤波 率和通带宽度等的可调节性也成为研究热点之一。可调声表 器，这就是其滤波原理。 面波滤波器 TSF 不仅可以减少系统器件数量，降低系统制造 成本、增强系统功能，还有助于减小系统体积，提高系统可靠性 ， 2 可调声表面波滤波器 TsF 的结构 因此，对 TSF的研究逐渐受到重视。目前主要有以下 3种方法 可调声表面波滤波器的实现方法主要分为电压可调、超导 实现 SAWF的可调性： 1 电压可凋，利用移相器、运算放大器 频率可调和滤波器组可调 3种 ，其各 自的结构、原理、性能和特 以及声表面波延迟线等组成的反馈回路实现； 2 超导频率可 点如下 。 调，通过在声表面波传播路径淀积超导控制薄膜实现 ； 3 滤波 2．1 电压可调声表面波滤波器 器组可调，通过可编程电路控制滤波器组的选通组合实现。 这类 TSF将声表面波延迟线、移相器和运算放大器组成一 1 SAWF的结构与原理 个闭合的反馈回路，通过电压调节改变移相器的相位变化量，从 而达到改变中心频率的目的。 SAWF的基本结构_1]如图1所示，主要 由压 电基片、输入 、 2．1．1 可调高Q值声表面波梳状滤波器 输出叉指换能器 IDT 3部分组成。 美国伊利诺伊州 MagnavoxSystems公司的FrederickY． 输入换能器 输出换能器 Cho等制作了可调高Q值声表面波梳状滤波器 Tunablehigh- Qsurface-wavecombfilter l2]，其结构如图2所示。利用宽带 声表面波延迟线的延迟时间可选、大的动态范围以及极好的线 性相位特性等优点，将声表面波延迟线与电可调移相器组成了 压电基片 闭合反馈回路，达到了频率调节的目的，Q值变化范围在 500 50000之间。频率变化量为： 图 1 SAWF原理 图 gs 1 Fig．1 SchematicofSAW F 输入电信号通过逆压电效应在输入 IDT上产生声信号，声 黄小锋：男，1982年生，硕士研究生，主要从事声表面波滤波器