纳米金属氧化物气体传感材料研究进展.pdfVIP

· 28 · 材料导报 2012年 11月第 26卷专辑 20 纳米金属氧化物气体传感材料研究进展 张 轩，杨海峰，席广成，卢晓静，李俊芳，闫 妍 (中国检验检疫科学研究院工业与消费品安全研究所，北京 100123) 摘要 综述了常见几种纳米金属氧化物传感材料在晶体结构控制、纳米结构构建、元素及化合物掺杂等提升 材料气敏性能方面的研究进展，同时介绍了相应传感器件的研发现状。 关键词 金属氧化物 纳米结构 气体传感器 掺杂 中图分类号：TB383 文献标识码 ：A ResearchProgressofNanostructuredM etalOxideGasSensingM aterials ZHANGXuan，YANGHai{eng，XIGuangcheng，LUXiaojing，LIJunfang，YANYan (InstituteofIndustrialandConsumerProductsSafety，ChineseAcademyofInspectionandQuarantine，Beijing100123) Abstract Researchprogressofimprovinggassensingpropertiesofnanostructuredmetaloxidesensingma- terials，suchascontrollingcrystalstructures，constructingnanostrueturesanddopingwithelementsandcompounds， isdiscussed．M eanwhile，researchanddevelopmentstatusofthecorrespondingsensordevicesarealsointroduced． Keywords metaloxide，nanostructure，gassensors，doping 表面积，因此控制SnO 纳米颗粒的尺寸是提升气敏性能的 0 引言 关键 。贾锐军等 将 snO 透明溶胶浸渍在云母基片上制备 金属氧化物半导体气体传感器作为一种主要的固态气 了粒径约为 15nm的SnO。纳米薄膜，薄膜对H：有较好的敏 体传感器件，因其灵敏度高、制作成本低和信号测量简单等 感性。娄向东等 6¨]采用溶解一热解法制备的纳米 SnO。粒径 优点而被广泛应用于工业生产、环境监测、卫生保健等领 小于 10nm，在工作温度 210℃时对 0．005 的乙醇具有很高 域l】]。此类传感器的传感性能很大程度上取决于传感材料 的灵敏度且响应恢复时间仅 ls。Wang等 制备了暴露高能 化学成分、传感层微观结构和形貌、表面修饰及传感环境温 面的Sn0。纳米颗粒，其对 CO的氧化有更高的催化活性，也 湿度等因素 。 就意味着更高的气体传感活性。另外，纳米多孔结构因其构 随着纳米科技在气体传感领域的深入应用，目前针对金 造上的大比表面积、丰富的气体扩散和质量传输通道等特 属氧化物传感材料气敏性能改进的研究多集中于纳米尺度 点，已经成为气体传感材料设计中的热点，如Yuan等 制备 金属氧化物的开发 ，如纳米结构化和掺杂改性等。研究者倾 了基于介孔和大孔 SnO。粉末的厚膜传感器，并研究了其对 向于制备大 比表面积的结构化纳米材料，如纳米管、纳米棒 H。和NO 气体的传感特性，结果表明引入介孔和大孔结构 阵列、纳米多孔膜等，以提高材料的气体吸附量、提升气体扩 明显改善了SnO 传感器的性能。 散速率，进而提高材料对气体的灵敏度、加快响应速度。对 2 纳米氧化铁气体传感材料 金属