镀金机收费办法：.doc

鍍金機收費辦法： 一、自行操作： (1) SEM/ EDS：使用費每小時150元，以小時為單位計費。鍍金機：使用費每分鐘300元，以分鐘為單位計費，不足1分鐘仍以1分鐘計費，白金鈀材由本系提供。； 通常每次都鍍1min~1.5min；約5~10nm表面鍍膜厚度 (2)每年統計各老師累計之使用費，並自本系分配各教師之業務費或設備費（原則上業務費不足額時，則逕扣教師類推之經費順序【設備費、管理費、技術服務費】等）扣款。 二、委託操作： (1) SEM/ EDS： 使用費每小時500元，至少3小時起計，並以小時為單位計費。鍍金機：使用費每分鐘500元，以分鐘為單位計費，不足1分鐘仍以1分鐘計費，白金鈀材由本系提供。 (2)自本校單位業務費扣款。 (3)校內其他單位一律委託操作，系內需經認証考核後得可自行操作；特殊試片須經機台保管人之同意，避免污染腔體，系內認證資格需為本系學生。 Sputter Coater 108 auto 鍍金機操作手冊 一、 （圖示一） 總電源 8. 手動暫停與時間選擇按鍵 玻璃罩 9. 手動啟動按鍵 試片座 10. 洩氣按鍵 ma/mb 選擇按鍵 11. 充溢按鍵 自動程式按鍵 12. 自動與手動選擇按鍵 終止按鍵（ 暫停 ） 13. 電流選擇按鍵 調整按鍵 14. 電流指示錶 二、 （圖示二） 主電源 PUMP 電源 5. Ar.N2氣體流量控制閥 保險開關 6. Ar.氣閥 真空幫浦接口處 7. N2.氣閥 三、~300秒）。 如果選擇按下自動模式按鍵，以下會自動執行鍍膜程序。 如果選擇手動模式就必須依照自我設定之真空壓力、進氣量、洩氣壓力、擊發時真空大小，依照選擇按鍵。 先關閉電源再關閉真空幫浦，即可解除真空取出試片。 四、 此種機型無法偵測膜厚，若需知道鍍膜之厚度需搭配石英膜厚偵測計，才可獲得鍍膜之厚度。 Model MTM-10 Model MTM-20 可偵測顯示鍍膜厚度。 可偵測控制鍍膜厚度及設定鍍膜終止時間。 4. 5. 6. 7. 3. 1. 2. 8. 9. 10. 11. 12. 13. 14. 2. 6. 4. 5. 3. . 1. 7. .