CVD金刚石刀具的制备工艺研究.pdfVIP

般戏I托 2oo，．8 CVD金刚石刀具的制备=I=艺研究 卢文壮， 左敦稳，王 珉，黎向锋，徐 锋 (南京航空航天大学 机 电学院，江苏 南京 210016) 摘 要：详细介绍了CVD金刚石厚膜刀具和涂层刀具的制备工艺，分析了目前制约CVD金刚石刀具制造和工 业化过程的关键技术问题，制备出的CVD金刚石刀具满足了高硅铝合金等难加工材料的加工需求。 关键词：CVD金刚石；厚膜；涂层；制备 中图分类号：TB43 文献标识码 ：A 文章编号：1002-2333(2003)08-0007-04 Manufacturing Processing ofCVD Diamond Cutting Tools LU W en-zhuan~ ZUO Dun-wen, W ANG M LIXiang-feng， XU Feng (C0uegeofMechanicalnadElcetricalEngineering,NUAA,Nnajing210016,China) Abstract：ManufacturingprocessingofCVD freestnadingdiamondthickfilm brazedontocuttingtoolsnadCVD diamond ’ fiml coatedon cemented carbidecutting toolswerecomprehensively summarized ． ecurrentkey technique forCVD diamond cutting toolin itsmanufacturingnadapphcationWSSmairIlyreviewed ． Cutting experiment resultshowsthatCVD dima ond cutting toolsare more superior thna cementde carbide in the fieM ofm · chininghighAl—Sljall0y，nonferrous-metalsandnonmetals． Keywords：CVD diamond；thickfilm；coating；mnaufacturing 1 引 言 研究机构也进行了大量的研究，取得了一定的成果，但 化学气相沉积 (CVD)金刚石薄膜具有达到或接 主要受到技术和经济两方面的制约，目前金刚石涂层 近天然金刚石独特的力学、热学、化学等性能，自20世 刀具的实际应用规模还较小。我们利用电子辅助热丝 纪8O年代CVD金刚石膜沉积技术取得突破性进展以 CVD法 (EACVD)成功沉积出厚度在 lmm以上 的 来，全世界掀起了金刚石膜及其产品的制备和应用研 CVD金刚石厚膜，并对 CVD金刚石膜刀具的应用进行 究热潮。CVD金刚石不含有金属或非金属添加剂 ，纯度 了大量的研究，取得了可喜的成果。 很高 ，耐热性可达 1000℃，其耐磨性和金刚石高压烧结 2 金刚石刀具的制造工艺 体几乎相 同，它被认为是加工非铁类材料，如有色金属 2．J 金刚石厚膜刀具制造工艺 及其合金、金属复合材料、陶瓷、碳纤维、玻璃纤维制 图 1为CVD金刚石厚膜刀具，其制造工艺为： 品、硬质合金、石材等最理想的刀具材料。在精密加工 厚膜制备—切割—抛光一清洗一焊接一刃磨。 中，CVD金刚石刀具可以以车代磨，替代价格昂贵的天 然金刚石进行超精密加工，使加工表面的粗糙度很低 ， 达到镜面水平。CVD金刚石刀具有两种：一种是金刚石 厚膜刀具，一种是金刚石涂层刀具，前者是将厚度在 0．1nlnl以上的金刚石厚膜切割成小块后焊接在刀杆 上，后者是直接在刀具上沉积一层不超过 50 m的金 刚石薄膜。通过多年的应用开发研究，CVD金刚石厚膜 刀具