一种新型的列阵反射镜调整架.pdfVIP

　第11卷　第1期 强 激 光 与 粒 子 束 . 11, . 1　 V o l N o 　1999年2月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S Feb. , 1999　 一种新型的列阵反射镜调整架 戴亚平　张全慧　李学春　朱健强 ( 中国科学院上院光学精密机械研究所联合实验室, 上海201800) 　　摘　要　针对组束激光系统主放大器而设计的一种新型的列阵反射镜调整架, 克服了多 个调整架结构松散的缺点, 满足了多路激光束之间间距较小的特殊要求; 同时采用了柔性铰 链机构及步进电机传动中联轴驱动一体机构, 使整套系统具有调整精度高、稳定性好等特点。 　　关键词　柔性铰链　联轴驱动一体机构　有限元 　　中图分类号　TN 722. 32; TN 256 　　目前在高功率激光驱动器的设计中, 由于空间的限制以及对多路主放大器反射镜调整的 精密性和稳定性, 要求将反射镜调整架集成化, 即采用列阵结构。 　　本列陈反射镜调整架采用了柔性铰链支承, 在步进电机的传动系统中则采用了联轴驱动 一体机构。整套机构实现了调整精密、稳定的特点。 　　图1为该高功率激光驱动器中单路主放大器的光路示意图。该放大器的一个特点即是双通 结构: 光束先后两次通过主放大器2。对于反射镜1的方位调整要求保证输入和输出光束的同轴 性。图中, 聚焦透镜的焦距为1000 , 小孔的直径为3 , 由此可以得到该反射镜调整架的技 cm mm 术要求为: 角度微调范围至少是0～ 0. 3 ( ) ( ) m rad 0～ 60 ″微调角分辨率不低于1. 5rad 0. 3 ″。 . 1　 F ig D iagram of the single beam path of the m ain amp lifier 图1　主放大器单路光路示意图 1　列阵反射镜调整架 1. 1　总体结构 　　列阵反射镜调整架的总体结构简图见图2。在底座上镜像对称分布着四个相同的反射镜调 整机构; 每个调整机构通过联轴传动机构与两台步进电机相连; 在每个调整机构的上面和一侧 ( ) 各分布着两个柔性铰链, 在下面和另一侧则分布着四个拉簧 图中小孔处 提供预紧。每个调整 机构都可通过步进电机做两维转动, 转动量大小由柔性铰链特性和步进电机额定功率决定。 　　由于集成主放大器结构紧凑, 上下两个主放大器之间的距离仅仅为二十几个毫米, 所以在 国家863惯性约束聚变领域资助课题 1998年6月24 日收到原稿, 1998年12月28 日收到修改稿。 戴亚平, 男, 1973年2月出生, 在读博士 © 1995-2005 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved. 38 强 激 光 与 粒 子 束 第11卷 设计上只能采用对应于各路主放大器的列阵结构, 这样才能使得整套系统结构紧凑, 安装和调 整都十分方便。 F ig. 2　Conf