不同压力下碳氢体系低压金刚石的非平衡定态系列相图.pdfVIP

维普资讯 第 4期 } Vo1．14．NO．4 1998年 l2月 Dec．．1998 不同压力下碳氢体系低压金刚石的非平衡定态系列相图 l 复 ，_珥z ~ 20 3 系统压力是低压金刚石薄膜生长实验中重要的实验参数，如果采用合理的计算方法定量化地 预测出压力对金刚石薄膜生长条件的影响，则可以直接用于指导其实验研究。本文报道根据非平衡 热力学耦合理论模型绘制了C—H体系金刚石生长投影相图，经与大量实验结果比较相一致，并系统 地计算了压力变化的碳氢体系金刚石生长非平衡定态截面相图，得到了金刚石生长区随压力变化 的规律。计算得到的相图与经典平衡相图有本质不同，均有金刚石生长区，因而可以合理解决金刚 石低压下连续生长而石墨被腐蚀与经典平衡热力学之间的矛盾。本文的计算结果可以为金刚石生 长实验提供定量化的压力条件的选择和优化实验条件。 关键词： 非平衡定态 金刚石 ． 相lit C—H体系 ‘ — — — — ——一 — ’ 一 佳 1f，笫僻 0前 言 金名同谨R垡 。 1 d 低压金刚石生长的实验研究从八十年代 以来取得了很大进展，先后发展了热丝 CVD、微 波等离子体CVD、乙炔燃烧火焰、直流等离子体炬和激光辐射淀积等多种技术。但在理论研究 上的发展速度并不如实验研究那样快，寻找合理的理论手段来定量化地预言金刚石生长条件 一 直是世界科学家们所关心的课题 。 王季陶等人从 1990年 4月起提出了一个非平衡热力学耦合理论模型，合理地解决了金刚 石低压下连续生长而石墨同时被腐蚀的实验事实与经典平衡热力学之间的矛盾[J 】。该理论 模型指出：在激活的条件下，热力学上认为是稳相的石墨的能量状态可以通过耦合反应来被抬 高而成为亚稳相，而金刚石的能量状态相对降低而成为稳相，在这种特殊的条件下，得到金刚 石是热力学上可行的。根据该理论模型和非平衡热力学熵产生最小化原理，可以计算得到非平 衡定态相图：金刚石的制备过程是一个持续的非平衡定态生长过程 ，在宏观上有化学反应发 生，在定态体系中各物相的关系不发生变化，因而物相状态与温度、压力和组分浓度之间必然 存在着特定的关系，描述这种关系状态图即称为非平衡定态相图。该相图可以定量化地得到金 刚石生长规律，为实验研究提供实验条件选择的依据 。 本文报道根据非平衡热力学耦合理论模型计算得到了金刚石生长非平衡定态压力投影相 图(0．1～53．28kPa)，与收集的参考文献[4～28]所报道的大量C—H体系金刚石生长实验点作 收稿 日期：1997一l0一l3。 收修改稿 日期：1998—01—25。 国家 自然科学基金 (NO和。863高技术基金资助项 目(NO．863—715—010-005)。 *通讯联系人。 第一作者：刘志杰，男，26岁，化学硕士，现为复旦大学电子工程系博士生l研究方向：化学气相淀积金刚石薄膜的机 理与实验 。 维普资讯 第 4期 不同压力下碳氢体系低压金刚石的非平衡定态系列相 图 ·4l3 · 了对比，理论上所预言的金刚石生长区与实验事实符合 良好。还系统地计算了压力从0．01～ 100kPa一系列碳氢体系金刚石生长的非平衡定态截面相图，得到了随压力变化的金刚石低压 生长规律 ：压力降低 ，导致金刚石生长区向碳低浓度方 向偏移；对于特定的衬底温度 ，压力降低 同样使金刚石生长区向碳低浓度方向偏移。本文的计算结果对指导实验研究具有现实意义，为 实验研究提供了系统压力的选择条件。