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类金刚石膜的制备方法和性能.pdf
第 23卷 第 6期 重 庆 工 学 院 学报( 自然科学) 2009年 6月
Vol. 23 No. 6 Journal of Chongq ing Institute of Technology( Natural Science) Jun. 2009
李 雪
( , 312000)
: ( DLC) , ,
DLC, ( CVD)
.
: ; ;
: TB383. 2 : A : 1671- 0924( 2009) 06- 0165- 07
P reparation M ethod and P erform an ce of DLCF
LIXue
( Departm en t of Physics, E lectronics and Inform ation, Shaoxing Un iversity, Shaoxing 312000, China)
Abs tract: This paper analyzes the structure, performance and influential factors of d iamondlike
carbon ( DLC) film, elaborates its application, and introduces the preparation m ethods of DLC
includ ing PCVD m ethod, CCVD method and p lasm astrengthened CCVD.
K ey w ord s: DLCF; structure; performance
, ),
, , ,
3 2
. 1971 ( sp sp ) ,
[ 1]
A isenberg Chabot , . ,
, DLC,
. ,
( DLC) ,
, ,
[ 2]
,
[ 3- 9]
( . DLC
: 2009- 01- 24
: (.
: ( 1981 ) , , , .
166 重庆 工 学 院 学报
,
, ,
,
21
.
1 DLC
3
, sp 3 2
图 1 sp , sp 和H 成分组成的DLC三元相图
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