单点金刚石车削技术的研究.pdfVIP

第 39卷 第 l2期 激 光 与 红 外 Vo1．39，No．12 2009年 12月 LASER INFRARED December，2009 文章编号：1001-5078(2009)1341-03 · 光学材料器件与薄膜 · 单点金刚石车削技术的研究 李池娟 ，孙 昌峰，孟凡波 ，孟小龙 (华北光电技术研究所，北京 100015) 摘 要：介绍了单点金刚石车削原理，分析了单点金刚石车削技术 中影响光学零件面形精度和 粗糙度的重要技术因素，同时提出了相应的解决方案，并展望了单点金刚石车削技术在光学制 造领域 的应用前景。 关键词：单点金刚石车削(SPDT)；面形精度；表面粗糙度 中图分类号 ：TH161 ．5 文献标识码 ：A Studyon singlepointdiamondturningtechnology LIChi-juan，SUNChang·feng，MENGFan-bo，MENGXiao—long (NoahChinaResearchInstituteofElectro—optics，Bejing100015，China) Abstract：Singlepointdiamondturningtechnologyprincipleisintroducedinthispaper．Theimportantfactorswhich influencesurfaceaccuracyandsurfaceroughnessareanalyzedandthemethodstoresolvetheproblemsarepresented． Expecttheapplicationofsinglepointdiamondturningtechnoloyg inopticalfabricationarea． Keywords：singlepointdiamondturning(SPDT)；surfaceaccuracy；surfaceroughness 1 引 言 坚硬而尖锐，可以认为材料的去除是在一个很薄的 计算机数控单点金刚石车削技术 (SPDT)是美 剪切区域内的剪切过程。认为在加工时不产生切削 国国防部科研机构于20世纪60年代率先开发、80 刃接触区，而且没有边缘的流动变形 ，这一剪切区从 年代得以推广应用的一项新型光学零件加工技术。 切削端向前延伸。光滑的金刚石尖端可以使加工表 它是在超精密车床上，采用天然单晶金刚石作刀具， 面具有最小的残余应力和理想的粗糙度。根据金刚 在对机床和加工环境进行精密控制的条件下，直接 石切削刃的几何形状和刀具每转的进给量，可以计 利用天然金刚石刀具单点车削加工出符合光学质量 算理论的表面粗糙度 要求的光学零件 ¨J。该技术 目前可加工的材料主 R =f／Sr 要有红外晶体、有色金属和部分激光晶体 以及光学 式中 厂为刀具每转的进给量，p,m／r；r为金刚石刀尖 塑料等。主要用于结构复杂和特殊要求零件 的制 的半径 ，inn。 造，如高次非球面、衍射光学元件、折衍混合光学元 实际加工过程中，金刚石切削零件的精度和 件、微透镜阵列、激光热沉元件、扫描转鼓、轻质反射 粗糙度除了与刀具的进给量和金刚石刀尖 的半径 镜、F一0镜、精密模压模具、大尺寸 KD P倍频晶 有关外，还受到多种综合因素的影响。如机床运 体、半导体外延基片等。经过20多年的发展，这项 动的精度和平稳性，加工外界环境、温度和湿度， 技术已广泛用于多种高精度光学元件的