烧结助剂对反应烧结制备多孔Si3N4陶瓷显微结构的影响.pdfVIP

烧结助剂对反应烧结制备多孔Si N 陶瓷显微结构的 3 4 影响 马艳红，季惠明，梁辉，刘松喆 天津大学材料科学与工程学院，天津 (300072) E-mail：maceramic@ 摘 要：本文以 Si 粉为初始原料，用 Y O -Al O 作烧结助剂，引入适量有机造孔剂，通过 2 3 2 3 球磨、干燥、干压成型等工艺，采用反应烧结的方法，成功制备了气孔率为 31.03% ，氮化 率达 92.62% ，显微形貌较佳的多孔RBSN 陶瓷，并通过XRD 、SEM 等分析手段，着重研 究了烧结助剂对多孔 RBSN 陶瓷性能（物相、微观形貌、气孔率、氮化率等）的影响。实 验结果表明：烧结助剂的含量影响了烧结体的性能，只有适量的烧结助剂，才能使烧结样品 具有较佳的微观结构、高的氮化率。 关键词：氮化硅，烧结助剂，反应烧结 中图分类号：TQ174.652 1. 引言 [1,2,3,4] 氮化硅（Si N ）陶瓷 作为一种高温结构材料，具有密度和热膨胀系数小、强度高、 3 4 弹性模量高以及耐高温、抗氧化、电绝缘性优良、表面摩擦系数小等一系列优点，因此在国 防、航天航空、冶金、电子、石油、化工等行业中获得了广泛的应用。制备多孔氮化硅陶瓷 的方法有很多种，但是反应烧结氮化硅（RBSN ）制备的多孔陶瓷，具有成本低、质量轻、 强度高、耐热冲击性和化学稳定性等特点，烧结前后外观尺寸基本不变，只有很小的收缩， 这就有可能[5]用较低的成本来生产各种尺寸精确、形状复杂的产品。因此，研究和开发高性 能的多孔RBSN 陶瓷具有十分重要的现实意义。 在反应烧结过程中，由于氮化与烧结是同时进行的，所以反应机理非常复杂[6]，反应过 程的进行取决于多方面因素（如原料粒度分布及纯度、烧结助剂、压力、氮化温度、气氛等）， 本文主要研究了烧结助剂对RBSN 多孔陶瓷性能的影响。 2. 实验 本实验通过反应烧结法，制备多孔RBSN 陶瓷。采用Si 粉作为原料，以Y O -Al O 作 2 3 2 3 为烧结助剂，并引入适量有机造孔剂，加入较少、中等、较多烧结助剂的样品分别为1 号、 2 号、3 号样品。按一定比例配制粉料，通过球磨、干燥、造粒、干压成型等工艺，将坯体 放入管式炉，在N2 气氛下进行氮化反应烧结。 通过质量的增加来计算氮化率的大小，通过阿基米德法测定气孔率[7]，在SEM 下观察 烧结制品断面形貌，采用X 射线衍射仪分析样品的物相组成。 3. 结果与讨论 3. 1 物相分析 - 1 - ▼ -αSi N 3 4 ▽ -βSi N 3 4