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溶胶凝胶镀膜技术综述连载4.pdf

全国性建材科技期刊——《玻璃》2003年第2期总第167期 溶胶——凝胶镀膜技术综述(连载4) 王德宪 郭利娅 (秦皇岛玻璃工业研究设计院秦皇岛市066004) 射率和吸收系数。这些氧化物膜的折射率和吸收系 第二章。氧化物镀膜材料、结构与性质 数应该能在由紫外到红外波长区域内变化,以适应 不同的用途。对于彩色镀膜来讲,应在可见光波长 第一节氧化物镀膜的材料 区内具有不同的吸收。因此,很多元素的化合物都 1 形成均匀氧化物镀膜的基本条件 可用来配制溶液,镀制出具有不同性质的氧化物薄 为加工出具有一定光学性质的氧化物膜,所选 膜。在多数情况下,不同的溶液可以互相混合,因 用的镀膜溶液必须具有特定的物理和化学性质,即: 此,其相应的氧化物镀膜的物理性质可以连续变化。 (1)在镀膜溶液中,成膜组分必须具有一定的例如,可制出折射率在1.4~2.4连续变化的氧化物 溶解度,并且在溶剂蒸发时不易析晶。满足这一条 膜。另外,薄膜的结构和性质,不同程度地依赖于镀 件的有那些已经以胶态或聚合态溶解在溶剂中的物 膜溶液、被镀基板的性质以及成膜期间的外晃 质,或者通过与溶剂反应形成胶态或聚合态的物质, 条件。 或者在溶剂蒸发后以非晶态胶状留下来的物质。 2镀膜材料 (2)镀膜溶液与被镀基板间的接触角要足够小, 2.1 单组分膜 、 以便镀膜溶液能在基板上很好地润湿。往镀膜溶液 人们最初是通过将酸加入硅酸盐溶液中,获得 中加入润湿剂可以改善被镀基板的润湿性。要想使 能够成膜的二氧化硅溶胶溶液,进而制得二氧化硅 基板达到理想的润湿效果,当然首先要将基板充分清 薄膜。.由此得出这样一个结论:这种方法对那些能 洗,这可以通过在无尘室内使用洗涤剂等其它各种方 够形成相应氧化物水溶胶的元素也同样适用,并能 法来实现。有关基板的洗涤方法以后再作介绍。基 制出相应的薄膜。因此有人对周期表中第四主族元 板的表面结构对其润湿性也有影响。如果玻璃表面 素进行了实验研究。然而近期的研究发现,水溶液 的机械力划伤或粗糙深度超过10扯m,在使用聚合度 中胶体氧化物或氢氧化物的存在,对固体表面均匀 低的溶液进行镀膜时,会造成明显的缺陷。 无机镀膜的生产是充分条件,但不是必要条件。如 (3)镀膜溶液要具有一定的耐久性,镀膜条件果某些无机或有机金属化合物在溶液中能够形成多 要保持恒定。要达到上述要求通常是比较困难的, 分子或多溶剂化物基因,并且干燥过程中产生凝胶 这是因为镀膜溶液有聚合或胶凝倾向。但在大多数 而没有析晶现象,这样的无机或有机化合物溶液也 情况下,加入稳定剂,可以使镀膜溶液保持最佳状 可用于制备薄膜。根据实际经验,金属酸酯或烷氧 态,使生产持续数月。 基化合物(醇盐)特别适合。通过与基板表面的OH (4)沉积的胶态膜能够转变成均匀的氧化物固基因或H。O的反应,在基板表面与薄膜之间形成稳 态膜。在加热及焙烧后,膜与基板之间形成很强的键 定的化学键。例如,在玻璃表面上,四价金属的烷氧 合,同时,在膜的固化过程中,不应出现裂纹或雾状。 基化合物作为成膜物质。薄膜在玻璃基板上的粘附 人们所关心的氧化物镀膜的光学性质主要是折 机理如图17所示。 From Solution *注:本章主要参考资料为H.Schroeder,0xideLayersDeposited0rganic

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