相位光栅自动对准技术研究.pdfVIP

EEPM № 3．1996 、 相位光栅 自动对准技术研究 。2 ／ 庞 亚 军 一 }午 … … 叶 … 凉 ㈣ 。 1、 了～夕 ．／ 摘 要 阐述 j相位光栅 的成象原理，以及在分步曝光机 关键技术 自动 对准上 的 关键词 巡 墨旦警晒酬 ? 镛u，挂 ／ r 墨 翥嚣 分步曝光机是大规模 、超大规模 集成 电 成较完善的 TTI对准光路 系统和标记识别 路生产 的必不可少 的光刻设备。其重要性及 处理方法。这也是国 内研究 自动对准技术努 发展一直为微 电子设备行业所关注。 自动对 力瞄准的方 向。 准技术是分步曝光机 的关键技术之一，是评 如图 1所示，根据阿 贝成象理论，平行于 价分步曝光机性能优劣的重要因素。实现 自 光轴的激光束照在反射光栅上发生衍射．光 动对准的技术途径不少，发展 日新月异．不管 波阵面发生畸变。我们把它分解成一组新的 采用何种对准方法．精确、快捷 、稳定、工艺容 平面波．每一个对应于一个给定的级 (0， 1。 差大始终是追求的 目标。 2，…)，并在一特定的方 向传播 ，物镜 Ll用 国内自动对准技术的发展极其 曲折．虽 作变换透镜 以在变换平面 ∑，(1。的后焦面) 已取得一系列成果，但与世界先进水平还有 上形成光栅 的夫琅和 费衍射图样．象平面 ∑2 较大差距，特别是能满 足实用化的 自动对准 上相干叠加形成光栅的一个倒象。 技术较少，而该技术领域一直受到西方发达 如令 ，(e， )代表物 函数，F(x．Y)代 国家对我国的封镇和限制。为了振兴微 电子 表物镜 后焦面 上衍 射 图样 的频谱 函数．厂 工业 ．顺 利完成我所 “九五”国家重点科技攻 (}． )代表象平面上的象函数．则有 ： 关、军事型谱和预研课题．更加深入地研究这 F( ，y) 项技术具有十分重要的意义。 本文就用相位光栅标记实现 TTI 自动 = f 』f(。r／)exp}[一i2 (和 +fly)]／ 对准技术进行 了初步研究．因才疏学浅难免 ，．^}d d (1) 不妥之处．仅作抛砖引玉之用。 2 相位光栅成象原理 标记是 自动对准 系统重要的组成部分． 其设计 、制备 以及工艺过程 中在掩模上 的成 象质量直接影响实现该技术途径的对准系统 精度和耐工艺过程的敏感性。世界上先进的 圉 l 成景