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纳米孔阵列阳极氧化铝膜的制备和表征(英文).pdf
维普资讯
第 4期 无 机 化 学 学 报 Vo1．19．No．4
2003年 4月 CHINESE JOURNALOF INORGANIC CHEMISTRY Apr．，2003
纳米孑L阵列阳极氧化铝膜 的制备和表征
杨文彬 朱世富 赵北君 叶 军 倪 经 甄万宝 陈兴明
(四川大学材料科学与工程学院，成都 610064)
本文通过在 0~C、0．5mo1．L一-的草酸溶液 中阳极氧化高纯铝 片的方法制得 了阳极氧化铝 (AAO)膜，并用扫描 电子显微镜
(SEM)和原子力显微镜 (AFM)对 AAO膜 的形貌和结构进行 了表征 。结果表 明，阻挡层 AAO膜 中大小一致 的膜胞在铝 ／氧化铝
界面上排成六方形阵列：有孔层 AAO膜 中含有高度有序 的纳米孔阵列和膜胞阵列，并且孔的直径和膜胞 的尺寸都具有较窄的
分布 。另外，考察了阳极氧化 电压对膜胞尺寸 、孔径大小 、孔密度和膜胞密度 的影响，表明在一定的电压范围内，膜胞和孑L径都
随电压的升高而增大，而孔密度和膜胞密度却随电压 的升高而减小 。
关键词： 纳米孔阵列 阳极氧化铝 制备 扫描 电子显微镜 原子力显微镜
分类号： 0614．3 1 TQ153．6
Preparationand CharacterizationofAnodicAlum inum OxideFilmswith NanoporeArrays
YANG Wen．Bin ZHU Shi．Fu ZHAO Bei-Jun YEJun NIJing ZHEN Wan-Bao CHENXing-Ming
fSchoolof』lten ScienceandEngineering,SichuanUniversity,Chengdu610064)
A one．steppreparationtechnologyfortheanodicaluminum oxide (AAO)filmswithnearlyidealnanopore
arrayscan befabricatedbyanodizinghighlypurealuminum foilsin0．5mol ·L一’H2C204solutionatO~C for48h
underdifferentvoltagesisreported．ThemorphologiesandstructuresoftheobtainedAAO filmswerecharacterized
byscanningelectronmicroscope (SEM)andatomforcemicroscope (AFM)．AFM imageofbarrierAAOatalu—
minum ／aluminainterfacewasfirstly observed．Resultsshow thatcellsin barrierAAO arearranged in hexagonal
arrayrSataluminum ／aluminainterface．SEM andAFM analysesonporousAAO filmsshow thatcellsinporousAAO
filmsappearascolumnarhexagonsandeachcontainsaporeinthecenter，SOcellsandporesinporousAAO films
arealsoarranged inhexagonal arrays；and sizesofthecellsanddiameters oftheporeswhichareonthescaleof
nanometerhavenarrow distribution．Furthermore，themechanism onarrangementofcellsandpores，theeffec
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