CCD测量动态范围的扩展技术.pdfVIP

维普资讯 第33卷第 l0期 光电工程 Vo1．33，No．10 2006年 10月 Opto—ElectronicEngineering Oct．2006 文章编号：1003—501X(2006)10—0096-05 CCD测量动态范围的扩展技术 周建康，沈为民，唐敏学 (苏州大学 现代光学技术研究所，江苏省现代光学技术重点实验室，江苏 苏州 215006) 摘要：介绍利用曝光量控制和图像融合处理技术扩大 CCD 测量动态范围的原理与方法。用电子 快门控制曝光时间，得到强度范围不同的图像，即用低曝光量得到高强度信息，用高曝光量得到 同一场景中低强度信息。利用最小二乘法求解 CCD 响应曲线，引入权重因子融合多幅图像中的 有效像素值得到动态范围扩展的图像。在实验中用 CCD对小孔的夫朗和费衍射图像进行测量， 利用扩展技术得到了能全面反映衍射效应细节的高动态范围图像。 关键词：动态范围测量；响应 曲线；图像融合；最小二乘法；CCD 中图分类号：TN386 文献标识码：A Extendeddynamic—rangetechniquesofCCD measurements ZHOUJian-kang，SHENW ei-min，TANGM in—xue (1nstitutyofModernOpticalTechnologyofSoochowUniversity，KeyLaboratoryofModern OpticalTechnoloyg ofJiangsuProvince，Suzhou215006，China) Abstract：TheprincipleandmethodofextendingdynamicrangeofCCD bymeansoftakingandthen fusingmultiplepicturesofthesamescenewithvariousexposuretimesarepresented、Bothhighandlow intensityinformationisobtainedrespectivelywithshortandlongexposuretime．Theresponsecurveis gottenbyleastsquaremethod．Thentheeffectivepixelvaluesofthesemultipleimagearefusedusing weightingfunctionandtheextendedhighdynamicrangeimageisgotten．Wetestthementionedmethod throughthemeasurementofFraunhoferdiffractionpatternofa1OOgm diameterpinholeilluminatedby aHe-Nelaserandsuccessfullygetitshigheffectivedynamicrangeimagewithdiffractiondetails． Keywords：Dynamicrangemeasurement；Responsecurve；Imagefusion；Leastsquaremethods；CCD 引 口 精密定位技术是一项与许多生产实践密切相关的高新技术，它在精密加工、半导体器件制造、电子产 品组装线、高清晰显示器件制作，以及纳米技术研究开发等领域具有广泛的应用。近年来，随着精密定位 技术的不断创新，利用激光莫尔信号来检测位置误差，从而实现高精度定位的方法已成为研究的重点，国 外已取得±4nm的直线定位结果IIJ。本文在研究激光莫尔信号的基础上，利用激光莫尔信号设计了一套精 密定位装置，由微机控制实现高精度位置检测及X-Y-0三 自由度的全 自动精密平面定位，取得了士0．5gm的 高精度平面定位结果。对精密加工工程等领域具有重要的实用价值。 1 精密定位原理 CCD传感器广泛应用于图像采集和光电测量，其固有动态范围有时不能满足实际应用，例如激光光束 诊断、光学