反射镜平动式光栅光调制器光学分析与仿真.pdfVIP

维普资讯 第 33卷第 10期 光电工程 V0l-33．No．10 2006年 10月 Opto—ElectronicEngineering Oct．2006 文章编号：1003-501X(2006)10-0038—05 反射镜平动式光栅光调制器光学分析与仿真 司 许，黄尚廉，张 洁，张智海，付红桥，陈伟民 (重庆大学 光电技术及系统教育部重点实验室，重庆 400030) 摘要：提出一种基于MEMS的光栅光调制器，可用于投影显示等相关领域。介绍了其结构、工作 原理及其；O~Y-流程，对器件进行傅里叶光学分析。分析得出，器件单像素在士l级对比度和光学衍 射效率最大值分别为1225和 51．4％，形成阵列后理论上最大值分别为无穷犬和81％。采用Coventor 软件进行光学仿真，得到器件实际情况下衍射花样，器件由于残余应力以及器件下拉时静电力作 用产生翘曲变形，光学性能有所降低。 关键词：微光机电系统；空间光调制器；光栅衍射：傅里叶光学 中图分类号：TN256 文献标识码：A Opticalanalysisandsimulationofreflectormoving gratinglightmodulator YANXu，HUANG Shang—lian，ZHANG Jie，ZHANG Zhi-hai，FU Hong—qiao，CHENW ei—min (KeyLaboratoryofOptoelectronicTechnobgyandSystems，theMinistryofEducationofChina， ChongqingUniversity，Chongqing400030) Abstract：AgrminglightmodulatorbasedonMicroElectromechanicalSystem (MEMS)isproposed， anditcanbeusedforprojectiondisplaysandrelevantfields．Itsstructure，operationprincipleand fabricationprocessareintroduced．AfterFourieropticalanalysisisdone，thehighestcontrastandoptical diffractedefficiencyofsinglepixelon士1storderis1225，51．4％ respectively，andinfinity，81％ ofr arraystheoretically．Diffracted intensity distribution underrealcondition isachieved by optical simulationwith Coventorsoftware，thedeclineofopticalperformanceresultsfrom theresidualstress andthewarpofthedevicewhenpulleddownbyelectrostaticforce． Keywords：MOEM S；Spatiallightmodulator；Grmingdiffraction；Fourieroptics 引 口 空间光调制器(SLM)通过改变光波的特性参数以实现光学信号调制，可广泛应用于光通信、打印机以 及投影显示等领域 J【J。随着微机电系统技术(MEMS)的发展，20世纪90年代出现了新型微机械光调制器， 这类 SLM 具有体积小、可靠性高、易集成等优点，在显示领域最为典型的器件有德州仪器公司(Texas Instruments)的数字微镜器件(DigitalMicromirrorDevice)和