基于傅里叶变换的点衍射干涉术.pdfVIP

维普资讯 第35卷第2期 光 电工程 Vo1．35，No．2 2008年 2月 Opto—ElectronicEngineering Feb，2008 文章编号：1003—501X(2008)02—051—05 基于傅里叶变换的点衍射干涉术 王惠临，苏显渝，杨焕东 (四川大学 电子信息学院，成都 610064) 摘要：在相移算法的点衍射干涉术的基础上，提 出了基于傅里叶变换的点衍射干涉测量术。基于傅里叶变换的点 衍射干涉测量术是一种建立在点光源衍射干涉理论基础上的测量方法，它采用傅里叶条纹分析方法来求解干涉条 纹的相位分布，运用基于BFGS的拟牛顿算法进行三坐标的迭代计算，确定点光源的三维空问坐标。通过计算机 模拟实验，验证了该方法在有噪声干扰的情况下，可以有效降低干扰噪声对测量的影响。 关键词：衍射干涉；傅里叶变换；拟牛顿算法；精密坝量 中图分类号：0435．2 文献标志码：A Point．diffractionInterferometryBasedonFourierTransform WANG Hui-lin，SU Xian-yu，YANG Huan-dong (SchoolofElectronicandInformationEngineering，SichuanUniversity，Chendu610064，China) Abstract：A point--diffractioninterferometrywaspresentedbasedonFouriertransform instead ofthephase-shifting point-diffractioninterferometry．Itisameasurementmethodfollowingthedirff actionandinterferencetheoryofthepoint lightsource．Thephasemessageofinterferencepattern wasobtainedbytheFouriertransfomr pa~em analysismethod． Andhtexyz-coordinatesofthetwopointdiffractionsourceswerecalculatedbythemodifiedNewtonmethodbasedon hteBroyden-Fletcher-Goldfarb-Shanno (BFGs)algorithm．Itisproved in thisarticlethatthepoint-dirffaction interferometry basedon Fouriertransfomr canreducetheeffectoftherandom noiseon measurementeffectivelyby computersimulationexperiment． Keywords：dirff actioninterferometry；Fourier-transfomr ；modifiedNewt onmethod；precisionmeasurement 1 引 言 坐标测量机是测量和获得尺寸数据的最有效的方法之一，因为它可以代替多种表面测量工具及昂贵的 组合量规，并减少复杂的测量任务所需时间。坐标测量机通过一个叫做测头的传感器接触被测工件，同时 读取移动测头的机架在三坐标测尺上的读数，所获得的数据可以与工件或某一工件特征(如孔)的尺寸描述 结合在一起 。通过这些尺寸描述，就 比较容易地确定工件或特征是否超差。为了减少三坐标测量中的Abbe 误差ljJ，最近提出一种新的相位测量体积干涉仪(也称为点衍射干涉仪)J，干涉仪由一个移动的测头和一个 固定的探测器阵列组