基于干涉条纹移动量的非接触振动测量研究.pdfVIP

第39卷第 11期 光 电工程 、，01．39．NO．11 2012年 11月 Opto-ElectronicEngineering Nor,2012 文章编号：1003—501X(2012)11—0017—07 基于干涉条纹移动量的非接触振动测量研究 王运付，杨若夫，杨春平，敖明武，董洪舟 (电子科技大学 光电信息学院，成都 610054) 摘要：为了实现大振幅、高带宽振动的非接触精密测量，本文提出了一种全新的光学测量系统。两束相干光的远 场干涉条纹位置与两束光之间相位差有关，相位差的变化将引起干涉条纹移动。获取主条纹的位置，可以计算两 束光之间的相位差，基于此可以还原物体的振动位移量 对振幅为 10pm的单频余弦信号以及频率为44．1kHz的 声音信号仿真还原结果表明，本丈所提光学系统和还原算法可以还原出亚微米级的振动信号，并能准确还原出音 频信息 关键词：振动测量；干涉条纹移动量；声音信号；非接触；亚微米 中图分类号：0329；0439 文献标志码：A doi：10．3969~．issn．1003．501X．2012．11．003 Non．contactVibrationM easurementBasedonthe M ovementofInterferenceFringes WANG Yun-fu，YANG Ruo-fu，YANG Chun-ping，Ao M ing-wu，DoNG Hong-zhou (SchoolofOptoelectronicInformation，Universityof ElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengdu610054，China) Abstract：Inordertogettheprecisemeasurementresultsoflarge-amplitudehigh-bandwidthnon-contactvibration，a new opticalmodelandanalgorithm forvibrationmeasurementraeputofrward．Far-fieldinterferencefringepositionis relatedwiththephaseoftwobeamsofcoherentlight．ThephasedifferenceCallbeobtainedthroughtheposition of maximum intensity fringe，which expressesthevibration displacement．Simulation resultsofcosine signalwith the amplitude10pm andsoundsing alswiththefrequency44．1kHzexpressesthatsubmicronvibrationandsoundvibration canbeobtained． Keywords：vibrationmeasurement；interferencefringemovement；soundsing als；non-contact；sub-micron 0 引 言 利用激光干涉技术对物体进行非接触振动测量是当前研究的重要课题之一，振动的存在会影响仪器设 备功能，降低机械设备的工作精度，加剧构件磨损，甚至引起结构疲劳破坏 ¨J。为了研究待测物体振动位 移量，国内外提出了很多利用激光干涉非接触检测振动的方法 4J，在检测振动时，不会因为检测仪和物体 接触而影响待测物的振动情况，比如激光外差干涉法、激光零差干涉法、激光全息干涉法，散斑干涉法 等。其中激光零差干涉法具有所需光电器件少、调试简单、成本低等优点而被广泛研究使用L1¨J。 本文基于干涉条纹的移动量的光学测振方法，属于激光干涉的应用范围。基于远场干涉理论，与