基于格莱姆-施密特正交化两步相移轮廓术.pdfVIP

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光电工程

第40卷第6期 光 电工程 V_01.40.NO.6 2013年 6月 Opto—ElectronicEngineering June。2013 文章编号:1003—501X(2013)06—0037—06 基于格莱姆一施密特正交化两步相移轮廓术 周灿林 ,司书春 ,高成勇 ,徐建强 ,雷振坤2 (1.山东大学 物理学院,济南 250100; 2.大连理工大学 工程力学系,辽宁 大连 116024) 摘要:将格莱姆一施密特正交化法引入投影栅形貌测量,提出了一种新的两步相移轮廓术。首先将2幅随机相移正 弦条纹通过DLP投影仪投射到待测物体上,由CCD相机采集受物体形貌调制的变形光栅条纹图,再选择合适大 小窗口经像素逐点均值法消除变形栅线图中的背景成分,然后对消背景栅线图进行格莱姆.施密特正交化,得到2 幅消背景相移栅线图对应的正交基,由正交基解调出相位数据。最后对面膜样品进行了实际测量,并与其它方法 进行了比较分析,实验结果证明了该方法的有效性。 关键词:相移法;相位测量轮廓术;变形光栅图;相位去包裹;格莱姆一施密特正交化法 中图分类号:0348;043 文献标志码:A doi:10.3969~.issn.1003.501X.2013.06.007 Two-·stepPhase-·shiftingProfilometryBasedon Gram.Schmidt0rthonormalization ZHoUCanlin ,SIShuchun ,GAo Chengyong,XU Jianqiang ,LEIZhenkun (1.SchoolofPhysics,ShandongUniversity,Jinan250100,China; 2.DepartmentofEngineeringMechanics,DalianUniversiytofTechnology,Dalian116024,LiaoningProvince,China) Abstract:Anoveltwo-stepphase—shiftingprofilometryisproposedaftertheGram-Schmidt(GS)orthonormalizationis introducedintothree-dimensional(3D)shapemeasurement.Firstly,wtophase-shiftedrandomlysinusoidalfringepatterns areprojec‘tedontothetestedobjectbyDigital—light-processing(DLP)projector.Thefringepatternsmodulatedwiththe object’SsurfacearecapturedbyaCCDcamera.Secondly,htebackgroundcomponentiseliminatedfromdeformed gratingsbyaveragingmethodpixelbypixelafterhteappropriatewindow sizeisadopted.Thirdly,allorthonomr alized fringebasisisdetemr inedfrom thewt ofringepatternsusingtheGSmethod.Then,htephaseisdemodulatedrfom hte fringebasis.Finally,wehavetestedhteproposedmehtodwim realmeasurementofhtehumanmask.Our algorithm is comparedwithhteothermehtods.Theexp

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