基于DPGC技术的激光干涉纳米振动测量系统.pdfVIP

第36卷第5期 光电工程 Vo1．36，No．5 2009年 5月 Opto-ElectronicEngineering May,2009 文章编号：1003—501X(2009)05—0098—06 基于DPGC技术的激光干涉纳米振动测量系统 刘彬彬，杨 军，苑立波 (哈尔滨工程大学 理学院 光子科学与技术研究中心，哈尔滨 150001) 摘要：基于数字相位载波调制(DPGC)原理，建立 了激光干涉振动测量系统及其信号解调的软硬件处理平台，以 24位数字信号采集卡配合64位PC处理器作为硬件电路的核心，实现了参考波形的发生与待测信号的实时采集， 利用LabVIEW软件平台构建了DPGC算法，实现了振动信号的实时解调。实验结果表明，基于PC平台的DPGC 信号解调方法，降低 了传统的模拟PGC技术中模拟乘法器和微分器等硬件电路的漂移和噪声，提高了信号解调精 度，改善了系统信噪比，实现了对频率范围10～200Hz低频振动信号的高精度测量，其分辨力达到0．14nlTl，动态 范围达到 120dB。 关键词：光学测量；激光干涉；振动测量；数字相位载波调制；LabVIEW； 中图分类号：TH744．3，TP274 文献标志码：A LaserInterferometerNano-vibrationM easurement System BasedonDPGC Technique LIU Bin．bin，YANG Jun，YUAN Li．bo (PhotonicsResearchCenter,CollegeofScience,HakbinEngineeringUniversity，Harbin150001，Chma) Abstract：BasedonprincipleofDigitalPhaseGeneratedCarrier(DPGC)modulation，laserinterferencevibration measurementsystem anditssignaldemodulationonsoftwareandhardwareplatformwereestablished．Takingthe24bit dataacquisitiondeviceand64bitPC processorasthecoreofhardwarecircuit，real·timedataacquisitionofreference waveform generationandthesignalformeasurementwasrealized．DPGC algorithm wasestablishedbyusingLabVIEW softwareworkbench，nadhtenvibrationsignalreal-timedemodulationwasrealized．Theexperimentresultsindicatehtat hteDPGC singaldemodulationschemebased onPC Cna reducedriftandnoisebytraditionalanalogPGC hardwrae circuitsuchasanalogmultiplieranddifferentiator,enhanceaccuracyofsingaldemodulationandimprovesingal-to-noise ofsystem ．Highaccuracymeasurementofthelow-frequencyvibrationsing alsrangingfrom 10～200Hzcomestrue．The me~uringresolutionisbetterthna 0．14nnlandthedynamicrangeis120dB． Keywords~opticalmeasuremem ；laserinte