计算机数控应用盘面形研究.pdfVIP

维普资讯 第 27卷第 3期 光电工程 Vo1．27， No．3 2000年 6月 ElectronicEn june，2000 文章编号 ：1003—501X(Z000)O3—0020—04 计算机数控应力盘面形研究 一 桂萍，一塑L丑 7。 ／7／．。 ； — — 一 (中国科学院光电技术研究所，四川I成都 610Z09) 摘要 ：简要讨论 了计算机控制应力盘抛光大口径高陡度非球面的基本原理，用Zernike多项式拟 合的数学方法研究应力盘I作过程 中的面形动态变化 ，对这一方法所能达到的精度进行 了分析 ． 给 出了计算结果。 关键词：兰 奎 垒苎 三；盖血 龟兰 中图分类号：TQl71．6 文献标识码 ：A A StudyOntheSurfaceShapeofa Computer-ControlledStressed Lap SHEN Gai—ping，YANG Li (InstituteofOpticsandElectronics，ChineseA,ademy fSciences，Chengdu610209，Chin“1 Abstract：Thebasicprincipleforpolishingalargeapertureandhighlyasphericalopticalsurface whhacomputer—controlledstressedlap issimplydiscussed Thedynamicchangeofthesurface shapeduring theoperating processofthe stressed lap is investigated with a mathematical methodofZernikepolynomialfitting，theaccuracyofthereelhodisanalyzedandthecomputa tionresultsaregiven． Keywords：Stressed lap；Asphericprocessing；Computercontrol；Aberration． CLCnumberTQI71．6 引 言 计算机控制大尺寸应力抛光盘加工超大型高陡度非球面反射镜技术克服了计算机控制小磨头抛光和 手工加工的局限，以其收敛快、效率高、质量好的优势开拓了大 口径高陡度非球面加工技术的新途径，为薪 一 代超大型(口径 4～8m、相对 口径 15～1)天文望远镜 的研制和建设奠定了有力的基础 。 应力盘技术是以能动光学技术为基础，把控制镜面变为控制加工工具，能动控制盘的应力变化，从而 动态控制应力盘的面形在加工过程 中连续不断地保持同被加工表面的吻合与适配 (应力盘的直径一般为 敞加工镜面的 1／5一l／3)。这种方法最大的优点在于摆脱 了计算机控制小工具抛光滋生中、高频残差的误 整来源 ，同时易于修改被加工表面产生的低频偏差 ．例如象散等。 显然，应力盘技术是计算机控制加工超大型高陡度非球面反射镜的关键技术之一，研究应力盘面 的 动态变化则成为至关重要的一环 本文把研究波面象差理论的Zernike多项式拟台方法用于研究典型的抛物面应力盘的面形 ．为应力 收翦 日|lI2000 n? Z3 基盒甄目：中国科学院重点课题 作者筒介：谌桎瞅 1974一，-女 汉‘旗)重庆^-硕士生，从事计苒帆技控砬 力盘研毙 维普资讯 2000卑6月