不同控制粒径下乱流洁净室的设计.pdf

2008 年6 月 洁净与空调技术CCA C 第2 期 不同控制粒径下乱流洁净室的设计 * 电子第十一设计研究院爱迪公司 黄贵松 摘 要 通过理论计算，提出针对不同控制粒径，在换气次数、过滤器选择等方面应采取不同的合理措施。并 分析了现行规范中推荐的换气次数适用条件，纠正了实际工程中几个常见的错误认识。 关键词 洁净度换气次数；粒径；粒径分布；含尘浓度 The Design of Turbulence Cleanroom with Different Particle Sizes Control Huang Guisong Abstrace Reasonable measures were taken regarding air change rate and filter selection to control different particle sizes based on theoretical calculations. The applicable conditions of air change rate recommended in current standards were analysed. The misunderstandings usual in actual proj ects were corrected. Keywords Cleanliness; Air change rate; Particle size; Particle size distribution; Particle concentration * Aidi Co. of The Eleventh Design Research Institute of IT, CO., LTD 0 引言 规范推荐的换气次数的理解。 乱流洁净送风量绝大部分都是采用的保障室内 1计算流程 空气洁净度等级的送风量（大部分乱流洁净室根据 热、湿负荷计算出的风量都小于此风量）。计算方法 1.1计算理论及公式 [1] 换气次数的计算通常采用不均匀分布理论，对 采用规范 推荐的换气次数法，换气次数选取按照 规范表6 .3 .3 选取。 于其他粒径由于原理系统计算方法仍可采用此法： [1] 现行规范 中对于乱流洁净室推荐的换气次数 是沿用ISO/DIS14644-4并针对我国洁净室设计建造 ( 1) [3] 等实际情况做了放大 ，而且以≥0.5 μm 粒径为 式中：N 为按不均匀分布理论计算的换气次数 v [2] 基准 。有很多资料已经针对0.5 μm 粒径不同过 （次/ h ）；N 为室内稳定时的含尘浓度，一般取1/ 滤器效率、发尘量等作了不同假设，提出了更详细 3~ 1/2 上限浓度的值 （p c/L ）；G 为单位容积发尘 [6] 的换气次数选择参考值 。因此，在计算乱流洁净 量 （pc/m3 ·m in ）；ψ为不均匀分布系数；N 为送 室0 .5 μm 粒径换气次数时，已有众