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带宽标准物质的定值和不确定度的评定.pdf

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一般工业技术

计《量与斓试技~~)20/4车第41卷第4期 带宽标准物质的定值和不确定度的评定 吴志娇 解英娟 朴玲钰 (纳米标准与检测重点实验室,国家纳米科学中心 北京 10019o) 摘 要:标准物质的定值是研制标准物质过程中的重要环节。带宽标准物质的定值过程采用多家实验室协同定值的方法。本文以纳米二氧化钛带宽标准 物质为例,对带宽标准物质的定值过程及不确定度评定进行了详细介绍。 关键词:带宽;标准物质;定值;不确定度 中图分类号:TBD9 文献标识码 :A 国家标准学科分类代码:410.55 QuantificationofBandgapStandardReferenceMaterialand UncertaintyEvaluationofDeterminationResult WuZhijiao XieYingjuan PiaoLingyu 1 前言 行了详细的介绍。 禁带宽度,简称带宽,是半导体材料最重要物理性质 2 定值思路 之一,单位是电子伏特(eV)。固体中电子的能量是不连 表 1 lOOnm二氧化钛带宽标准物质的多家定值测量结果 续的,处于束缚状态。材料要导电就要有 自由电子存在, 自由电子存在的能带称为导带。被束缚的电子要成为 自 由电子,就必须获得足够能量跃迁到导带,这个能量的最 小值就是禁带宽度。对于半导体材料,带宽直接反映其 导电特性。带宽变化直接影响半导体材料的物理、化学 性质,并决定其应用性能与范围。带宽的大小主要取决 于半导体的能带结构。在新能源(电池材料)、环保(催化 剂)、微电子器件及纳米功能材料等应用领域,准确地获 得半导体的带宽量值是科研与生产中非常关键的环节。 纳米二氧化钛带宽标准物质的定值思路是:在国内 标准物质的定值就是对标准物质特性量值赋值的全 多家权威实验室采用固体漫反射测量法协同定值,获得 过程,且必须保证标准物质的量值具有可溯源性,即标准 标准物质准确的带宽量值。固体漫反射测量法是利用紫 物质的量值能通过连续的比较链以给定的不确定度与国 外可见分光光度计中的积分球测试固体样品的漫反射率 家或国际的基准相联系。我国在 1995年由国家计量局 随照射波长的变化,并根据 Kubelka—Munk公式得到半 颁布 的标准物质管理办法和一级标准物质技术规范 导体材料的带宽。该方法是国内外科研、生产中使用最 (JJG1006—94)中规定,国家一级标准物质必须采用下列 广泛、最权威的带宽测试方法。目前,采用上述方法进行 方法之一进行定值:(1)高准确度的绝对或权威测量法定 固体材料紫外测试的标准,只有ASTM:El175—87,我国 值 ;(2)两种以上不同原理的已知准确度的可靠方法定 尚无相关标准检测方法。在定值过程中,选择经过计量 值 ;(3)多个实验室采用准确可靠的方法协同定值。 检定并合格的紫外可见分光光度计 ,按照 ASTM:E1175 对于带宽标准物质,目前国内外还无法进行绝对方 — 87方法进行纳米二氧化钛测试,获取其带宽特性量 法测量,无法直接溯源到 sI的基本单位或其导出单位。 值。另外,考虑到带宽标准物质u任使用中的普适性,在定 我们采用的是多家实验室协同定值的方法。本文以国家 值过程中选用的测试仪器为国内外普遍使用的不同型号的 纳米科学中心研制的粒度为 lOOnm二氧化钛带宽标准物 设备。定值过程中,每个定值实验室从3个样品中随机抽取 质为例,对其定值过程、数据统计以及不确定度的评定进 1个样品,选取每个样品的不同部位,进行3次测试。 *基金项 目:科技部基础性工作专项 (20nFYl3O1o4);国家科技支

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