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徐晦寅：浅述计量光橱技拳 浅述计量光栅技术 徐腾寅 (上海市质量监督检验技术研究院，上海 201114) 摘 要：利用光栅的莫尔条纹原理，把计量光栅作为精密计量元件，广泛应用于仪器仪表及机床等方面，有利于实现测量的 自动化、数字化以及动态测量， 并有利于提高测量精度。本文主要从莫尔条纹原理、计量光栅系统设计、光栅细分技术等方面对计量光栅测量技术及其特点进行介绍。随着现代电子技 术的发展，计量光栅技术被应用于更多更广泛的领域，并向着纳米级精度突破。 关键词：计量光栅 ；莫尔条纹；光栅光学系统；光栅细分技术 中图分类号：TB9 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：410．55 A BriefDescriptionofM etrologicalGratingTechnology XuTengyin 本世纪五十年代后，人们开始利用光栅的莫尔条纹 个栅距，光电元件发出一个信号，计数器记录一个数。如 现象，将其作为精密计量元件。光栅在数显数控装置上 果在两块光栅的背面设置一个光栏，那么光电元件输出 被用作精密测量定位元件，被称为计量光栅。故光栅技 的信号将随两块光栅尺位置的不同有强弱变化，而输出 术的应用有利于实现测量 自动化，读数数字化，能利于进 信号的周期与光栅相对移动的栅距数同步。这便是光栅 行动态检测。 钡’0量位移的基本原理。 1 莫尔条纹 3 光栅测量系统的设计 1．1 莫尔条纹的原理 光栅测量系统是利用光栅莫尔条纹原理将位移量进 光栅是光栅尺的简称。光栅尺表面刻有规则排列和 行转换和显示的测量装置，包括三大部件：(1)光栅光学 规则形状的刻线，这些刻线有透光和不透光的、或全部透 系统；(2)实现细分的系统；(3)相应的机械结构。 光的、或反射光和不反射光的。当两块光栅以微小交角 3．1 光栅光学系统 相对倾斜重叠时，在与光栅刻线大致垂直的方向上，可以 光栅光学系统是指把光栅形成的莫尔条纹的位移变 看到明暗交替的条纹，这就是莫尔条纹。 化转换为光电信号输出的系统。 1．2 莫尔条纹的特点 在实际中，光栅光学系统有很多类型，按工作原理可 (1)光学放大。是指借助莫尔条纹可以实现放大光 分为菲涅耳系统、夫琅和费系统、镜像式光学系统、反射 栅的相对位移量。 ‘ 式光学系统等，或者按形成莫尔条纹的光栅数 目可分为 (2)误差平均效应。光电元件接收光能是覆盖范围 单光栅光学系统、双光栅光学系统和三光栅光学系统，但 内的各透光缝的光能之和，由于有多根刻线参与，故个别 无论如何分类，光栅光学系统都是由几个基本部分组成。 缝宽度和位置误差对结果影响不大。 (1)照明系统。照明系统包括光源、聚光系统以及光 (3)对应关系。当光栅副中任意一块光栅沿垂直于 阑。光源经聚光镜形成平行光照在光栅上 光阑的主要 刻线方向移动时，视场中移动的莫尔条纹数等于光栅移 作为选频滤波器，保留需要的频谱，去除不希望有的谐波 过的栅距数。故在空域位移或时域位相上，莫尔条纹与 成分，从而达到控制信号质量的目的。 光栅存在一一对应关系。 (2)光栅副。光栅副包括标尺光栅和指示光栅，由于 1．3 莫尔条纹的技术指标 两光栅的相对位移，在平行光的照射下形成交变莫尔条 根据定位精度和细分技术的要求，莫尔条纹信号需 纹信号。光栅测量系统的精度主要是由