纳米晶PZT薄膜叠层型体声波滤波器的研究.pdfVIP

第 7卷第 1期 纳 米 科 技 No．1 2010年 2月 Nanoscienee＆Nanoteehnology February 2010 纳米晶PZT薄膜叠层型 体声波滤波器的研究 楚合群 ， 陈剑鸣， 吴光敏 ， 周 莹 (昆明理工大学理学院MEMS实验室， 云南 昆明 650093) 摘 要：设计了一个以纳米晶PZT为压电薄膜的叠层型体声波滤波器(SCFBAF)，并在ANSYS11．0 中用3D有限元方法对其幅频特性进行仿真与研究，实验结果表明，该SCFBAF工作在 682．64 MHz时带宽约为280kHz，1781．36MHz时约为320kHz，能满足高工作频率、窄带宽的需要。相比 传统滤波器。该种SCFBAF具有可集成和低功耗等优点，将在下一代无线通信射频前端系统中发 挥重要作用。 关键词：纳米晶PZT薄膜；体声波；滤波器；谐振器；梅森模型 Research onNan0一crystallinePZTFilm StackedBulkAcousticW aveFilter CHU He-qun， CHEN Jian-ming， WU Guang—min， ZHOUYing (KunmingUniversityofScienceandTechnology， Kunming 650093， China) Abstract：Alaminated—typebulkacousticwavefilter (SCFBAF)usingnano-crystallinepiezoelectricfilmwasdesigned， anditsamplitude—frequencycharacteristicswassimulatedinANSYS11．0using3D finiteelementmethod．Theresultsin— dicatethatthebandwidthofSCFBAFworkingat682．64MHzand 1781．36MHzwerecorrespondingto200kHzand320 kHz，respectively，whichcanmeetstherequirementsofhighoperationfrequencyandnarrow—bandwidth．Inaddition，the SCFBAF isfoundtohaveotheradvantages，includingbeingintegratedandlow powerconsumption，and itwillplayan importantroleinthenextgenerationofwirelesscommunicationRFfront—endsystem． Keywords：nano—crystallinePZTfilm；BAW ；filter；resonator；Masonmodel 中图分类号：TN713 文献标识码 ：A 文章编号 ：1812—1918(2010)01—0011—04 1 前言 要缩小每个信道的带宽。窄带宽对信号选择滤波 器提出了更高的要求 ，即信号接收机的射频前端 随着纳米薄膜技术的发展，如今采用溶胶一凝 需要使用窄带宽的滤波器来完成窄带滤波[31。目前 胶(Sol—Ge1)法可以制备出品质满足体声波器件所 的射频前端 中主要使用的是声表面波(sAw)滤波 需择优取向的PZT压电薄膜，通过对其晶向结构 器，但 SAW的工作频率一般低于GHz数量级，已 和形貌的表征表明，制备的PZT薄膜具有纳米尺 经不能满足下一代通信系统的需要。近年来出现的 度的晶体结构 l1『12]。无线通讯技术的进步和用户数