10MHz短脉冲超声聚焦换能器的工艺及效果.pdfVIP

维普资讯 文章编号 ：1000—3630(2001)03—0122—03 IOMHz短脉冲超声聚焦换能器 的工艺及效果 诸国桢，杨 勇，卢克安 (清华大学物理系 ，北京 100084) 摘 要：文章报导了为生物医学研究用的聚焦换能器 ，可以在水 中发出延续时间为一个半周期 ，主频为 10MHz的 超声脉冲。文中介绍了研制工艺，并给出换能器 以下的物理特性 ：1．用光学法拍摄 的换能器在水 中的聚焦过程 ； 2．激发换能器 的电脉冲波形及接收电压的波形和幅值 ；3．对于试样的探测结果。 关键词：聚焦换能器 ；短脉冲 ；医学超声 ；无损检测 中图分类号 ： 52 文献标识码 ：A Thetechnologyandphysicalpropertiesof10M Hzshortpulse ultrasonicfocused transducer ZHU Guo-zhen，YANG Yong，LU Ke-an (DepartmentofPhysics。TsinghuaUniversity。Beijing10O084。China) Abstract：Anultrasonicfocusedrtansducermainlyusedinbiomedicaltechnology。withitsmainfrequencyofIOMHzandtheduration ofoneandahalfperiods。isdescribedindetailinthispaper．Thefollowingphysicalpropertiesofthisnansduc盯 aregiven：1．Thefo— cusedacousticfieldrecordedby811opticalmethod；2．Theelectricwave：form fortriggeringthetransducerandtherelatedwaveform re— ceivedbyanothertmn~ucre ；3．Thetestingresultsofasample． Keywords： k~usedtran~ucer|shortpulse；ultrasonicmedicine；nondestructivetesting 以选作透镜材料，但仍存在工艺问题 ，即由于晶片表 引 言 面和黄铜表面不均匀 ，直接用环氧树脂粘结也不会 5MHz-50MHz的短脉冲超声换能器在医学上 得到很好的匹配，必须选择一种耦合材料 ，这种材料 有较多的应用。例如皮肤的力学特性研究…1，经络 可以填补两个材料表面的不均匀 ，并且与两种材料 的定位等 2。但在换能器的有关报导 中，关于研制 的声阻抗率相匹配。因此低温焊锡是一种首选材 工艺往往很少提及 ，性能的介绍也很难全面 (例如只 料 ，我们测 出焊锡的 P=8．5×103lg【／m3，c=2800 给接收波形 ，不给信号大小 ，不给激发信号等等)。 m／s，pc=2．4×10Pas／m，如果焊锡层很薄 (在焊 本文将介绍我们对透镜材料的选择及相应的工艺， 锡冷却之前加压块)，只起到填补微小不平的作用 ， 并得到有关的性能和效果。 其效果将明显优于胶粘 ．我们用这样的方法制成 的 换能器的原理图如图 1所示 ： 2 短脉冲声透镜材料的选择 尽管早在 60年代就已知道 3，按照表面换能原 理，背衬面匹配可获得一个周期声辐射 ，辐射面匹配 可获得一个半周期的声辐射。因此通常为了得到较 短的脉冲要加环氧钨粉背衬，这在低频 (大约 2MHz 以下)可以达到较好 的效果_4j，但对较高频率，这种 方法显然是不可取的。 黄铜是很好 的匹配材料 ，其 P=8．6×100kg／