Y旋转ST—石英基片上的准纵漏表面声波.pdfVIP

维普资讯 文章编号：1000—3630(2001)02—00784)3 Y旋转 ST．石英基片上的准纵漏表面声波 周 冉，童筱筠，章 德 (南京大学声学研究所近代声学国家重点实验室 南京 210093) 摘 要：文章主要研究了Y旋转ST一石英基片上准纵漏表面声波(快速声表面波)的传播特性。它的相速度是常规 瑞利波的两倍 ，在某些传播方向可高达7000nv／s；在理论与实验上寻找了束偏向和延时温度系数均较小的切割传播 方向．例如，沿欧拉角(0。，15525。，42)方向的准纵漏表面声波的相速度为6153m／s，延时温度系数为llpprn~ ，其 声波能流方向基本上与渡的传播矢量方向相一致。实验证明放置于基片表面的液体对准纵漏表面声波的吸收不 大，说明声波的质点振动与传播方向一致 (}凸表面方向)，具有纵渡的性质： 关键词：准纵漏表面声渡；TS一石英基片；传播特性 中国分类号：0．4922 文献标识码：A Quasi-longitudinalleakysurfaceacousticwave onY-rotated cutST-quartzsubstrates ZHOU RaFl， TONGXiao—jun， ZHANGDe (Statel a／horato~,n{modemAcoustics，InstituteofAcoustics，NanjingUniversity．Nanjing210093，China) Abstract：T paperstudiesthepropagationpropertiesofQuasi-longitudinalleakvsurfaceaccalsticwave(QLLSAW)no Y-roattedcut TS -quartzsubslratesThephasevelociw QLLSAW ontheTS —quartzsubstrateisa~atttwicethatOfnormalSAW ．andinSOlTlecll— lectionsevenuptO7OO0m／s Boththeoreticalandexperimentalresul~ shew thatOL AW propagatingalong∞medirectionsare withsmal[powerflowdeviationnadsmallt~nparaturecoefficient．suchasalongthe directionofEulerangte(0。，15525。，42。)，the phasevdocityis6153m／s，temperatureooeffidnetis1lppmA2nadtheenergyflowofQLLSAW isalnogthedirectiono{wavevec— tot．Wh饥 liquidWasputno thesurface the substrates．QLLSAW hadlittleabsorptino byliquid．whichprovde thatthedirectino particlevibrationispa瑚lel、vlththe surface，naddemonstratesthatthewaveis0fhtepropertiesoflon~itudined．wave Keyworc~ QLLSAW ；TS —quartzsubstrates；propagationproperties 定的叉指换能器的空间周期，因此在同样的工艺条 引 言 件下，利用高速表面波模式，可使工作频率得到质的 随着通讯设备 向高频发展，应用于通讯的声表 提高。作为一种基本的表面渡模式，准纵漏表面声 面器件的工作频率