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维普资讯 超声点焊机的频率 自动控制及其换能器 屠 汉 庄 后去调整振荡器 的频率。 一 、 引言 三、声跟踪方式 超声波点焊工序 (亦称超声波键合或超 声压焊)，是微电子工业不可少 的工艺之一 。 目前使用较广的 CHJ～2型超声波点焊 在焊接 中，如要获得可靠 的焊点，除丁微 电 机，是采用声跟踪方式的频率 自动控制， 子工业产品自身工艺质量外，超声波发生器 的换能器结构及振动示意图如图l所示． 的输出和换能器谐振频率的匹配就起着决定 作用。但换能器的谐振频率不但取决亍 自身 的几何形状，它还将随着温度变化及负载变 化而变化。前者，是困换能器机 电转换被率 而形成的热积累、以及照明灯的热辐射和环 境温度变化造成I后者，是换能器上劈刀安 装位置不同及焊接时所加压力不 同而形成的 负载变化造成。如果当换能器工作的谐振频 率发生微小变化时，整个系统的工作频率也 能随之堂化，这样就达到了频率 自动控制的 目的。 图 1．换能器结构图及振动方式 图中，L，为PZT 压电 陶瓷振子，求Flj 二、频率 自动控制 的方法 Ka-振动模式，虽然机 电耦台系数略低，世 能以较小电睢建立较强电场 。L 、L。是传 输杆，L．是一圆锥形聚能器，虽然圆锥形聚 从 目前实际使片j的设备米区别，频率 自 能器的振幅比不如阶梯形竹，但它有较好的 动控制大致有三种方法。 负载性能。圆锥形聚溢器的计算公式如下 1．声最踪：以声耦台方式，从换能器上 采集谐振频率的电讯号，然后反馈至前缀而 t薹kl= 形成持续振荡。 H 苦 (kI。， 2 电臻踪 采集按能器的电流波，经反 馈至前缴而形成持续振荡。 只要确定了圆锥形的大端面与小端面的 8．频率 自动髑谐：崩换能器上的电流波， 半径比R，／R ，就可求得谐振条件下的kl值， 和振荡器所产生的电压波进行相位检测，然 通过谐振频率值，即可求得圆锥形聚能器的 声学技术 维普资讯 长度 l。 动。由于逆压电效应，在副电极上就能得到 PZT振子上 电扳，人为地留下一间隔， 该振动频率的电讯号，利用声耦台方式获得 成为一主电极和一副电极，它们之间呈绝缘 的电讯号来进行频率 自动控制，就是所谓的 态而没有电的耦台 所以，在主电极上加上 声跟踪方式。该换能器采用粘结工艺，承受 与换能器谐振频率相 同的激励讯号时，换能 激励功率不宜太大，故常在纽丝焊接设备中 器就谐振，聚能器劈刀处就有较大振幅的振 应用 。 表 1 换能器谐振缀率的沮度影响 劈刀伸 出cmm 1频率cKHz，i温度ct， 频率cKHz， 9