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\声学技术
维普资讯
蠡墟 撒
间歇模原子力显微镜非线性振动的数值模拟
文
三里& ,翌壁垒 -
(中国科学技术大学 ,电子工程与信息科学系,舍肥 230027) T-A//
中围分为号 :0422.7 文献 标识码 :A
一 一 Num eriealsimulation ofnonlinear vibration oftappingOq-zlt』
m odeatom icforcem icroscopy
厂^、/一 WU Kun—yu, SHAO Ji—hong
(DepartmentofElectronicEngineeringandInformation Science.
UniversityofScienceandTechnologyofChina,Hefei230027.China)
问 型来分析 AFM 徽 悬臂粱的机械振 动响应,计算力
敏探针的位移振幅相位和非线性相互作用力同受追
原子力显微镜 (简记为 AFM)是利用其微悬臂 频率 ,力敏探针一样品同初始距离及其弹性参数的关
梁的机械振动响应于力敏探针和实验样品表面之同 系,解释实验上观察到的频 响特性 的同断性跳变和
的相互作用力来成像的,由于具有原子和分子级的 弛豫等非线性现象 ]。
分辨率 .已成为表面戚像及材料微结构研究的新工
2 间歇模 AFM 的非线性 受迫谐振 子模 型
具 ,在科学技术的各种领域获得 了广泛的应用 [1-23。
有几种不同模式的AFM 相继被开发使用 在 AFM 间歇模 AFM 工作的单 自由度非线性 受追谐振
嚣 的接触模工作 中,其力敏探针始终保持同样 品表 面 子模 型示 于图 1,这个 非线性振 动系统可 由下面的
相接触 ,力敏探针和样品之间的相互作用力被微悬 微分方程来描述 :
臂槊位移产生的弹性力所平衡 ,这种接触模 式有极 一 dz . 、
dtz 百 wg(z 一
高的分辨率 .但力敏探针上存在横 向力,对实验样品
有较大 的损伤 }在 AFM 的非接触模工作 中,力敏探 F()+ % OS( ) (1)
针的振幅相当小 ,力敏探针始终处于引力场作用中. 式中O是微悬臂粱的等效机械 品质 因数 ,m是等效
而这种引力场梯度能使其谐振频率有所偏移 ,导致 质量 ,^是等效弹性常数,埘o= ( /m)“是谐振角频
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