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\声学技术
维普资讯
文章编号 1o0o一3630(2oc0),3283O3
用于换能器校准的激光干涉测振技术
吴先梅 ，钱 梦骤 丁B 厂
一 (同 所 ．—3-~,—2ooo92)
_ 可B{『j
茎塞豢篓 j) 青苌，寸丢
Vibrationmeasuringtechniqueusiiiglfi／eFifitr席rometer
WU Xianmei，Q 【AN Meng—lu
(InstituteofAcoustics，TongjiUnviersitv，Shanghai200092，China)
Abstract：Inthispaper·theprincipleofabsolutelydetectingthevibratingdisplacementofultrasonictransduc
el-bylaserinterferometerisintroduced．Thesignalprocessingmethodindifferentcasesisstudied Theexperi—
mentalresultsoflow frequencyandhigh frequencyandtheirsignalprocessingresultsaregiven．From theex-
perimenta[andthesignalprocessingresu[ts，itisshown thatthemethodofaccountingstripesissuitablefor
smallamplitudeandtransientmaximatfrequencyissuitableforlargeamplitude．
Keywords： transducercalibration；detecting vibration；1aserinterference
功率超声换能器在超声清洗、焊接、加工 能器增幅杆的表面，各 自反射回来后分别经
及声化学等方面都有着重要的应用 ．但 由于 过 PBS遗射和反射再到达扩束镜 L和光 电
功率超声换能器的工作频率一般都在几十千 倍增管 D 这两支光束在检测平面上形成一
赫 ，工作时在液体中存在着超声空化现象 ，使 组宽度为h的干涉条纹 位于干涉条纹 z处
得用通常的辐射压力法，标准换能器法对其 的光电检测器的输出光电流J为：
进行校准变得 比较困难 。而利用激光干涉仪 I= I。+ I1cos2~x,／h (1)
可 以测量换能器的表面振动位移进而计算出 此处 z是光 电检测器在激 光干涉条纹中的
辐射声功率 ，因此该方法是一种值得探讨的 位置 ，h是干涉条纹的宽度 当换能器表面位
校准功率超声换能器的方法。 移为 A=a．／2时，干 涉仪两相干光束 的光程
差的改变为 ，检测器处就移过一条条纹，则
1 实验原理
条纹的位移为R=h，于是有 ：
利用激光干涉仪测量换能器表面位移的 a／h= 2A／ (2)
原理如图 】所示。一束He—Ne激光 (^ 6328 如果参考镜 的振动为Y=Acos~t，则条纹
且，：2OmW)经过分光镜分为两束，一束入 也以 =Rcos~t的形式振动，此时光 电检测
射到参考镜 M，另一束入射到待测的功率换
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