氣凝合成法製作氮化硼奈米管之的研究.pdfVIP

第六届海峡两岸超微颗粒学术研讨会 氟凝合成法袋作氮化硼奈米管之研究 蘸程裕1、到盈秀1、碾家荦2、碾奕僳1、林中魁3 1圜立台北科技人晕裂造科技研究所 2圜立中央人睾桅械：【：程系 3逢甲犬孕材料科孥舆jI：程孕系 摘要：本研究主要是以鼋浆鼋弧稳加熟源蒸骚氧化硼靶材，啦以氟凝合成法合成氮化硼奈米管。 藉由鼋聚鼋弧的氟凝合成楗制，分别探封雕力及靶材成分添加石墨或筠封氮化硼奈米管合成结耩之 影辔。研究结果颖示，氧化硼靶材中不渝添加石墨棒或鳊堍，其氮化硼奈米管的数量都舆真空腔 式鼋子颞微镜舆X光绕射分析结果可得知氮化硼奈米管结耩，其晶格平均同距(d-spacing)鹅 朋键嗣：鼋浆鼋弧、氟凝合成、氮化硼、石墨棒。 1．前言 氮化硼鹅III．V族化合物【11陶瓷材料，具有良好的光、鼋f2，3】、熟傅及横械性能【4，5】，其奈米 锸耩最早由Narseen Nitride G．Chopra【6】等人以鼋綮鼋弧法成功裂侑纯氮化硼奈米管(Boron 穿透性，於高温畴更捷有良好的润滑特性等；但受限於袋作合成方法及成本黄埘鞍高，且裂程需要 高能量的蒸骚源，因此一直焦法有效推庚裂作高性能材料庶用。在扑多的陶瓷材料中，BN【7．91、 BCN[Ⅲ1等奈米结耩，成稳现今最熟朗的材料鹱展新方向。 一般奈米氮化硼合成方法依加熟源的不同可分鹅脲衡雷射法[11，121、COz雷射1131做鹅蒸骚热 源或鼋弧(Arc 凝合成法具有接近蒸骚源、隔绝辐射熟、消耗成本低等後黠，因此较鹳庚泛虑用。然而，鼋浆氟凝 合成法所使用的靶材必须羯尊鼋材料，鞍常兄的作法鹅混合尊鼋材料[161或直接使用B水、B2H6通 入氮氟、氢氛合成氮化硼材料071，不遇裂程方式啦不符合解清效益，需要糗及蒸骚源混和比例或 是重量，所以前置作椠舍遇於繁琪。 本研究裂借方法有别於傅统的氯凝合成方式，由单一加熟源可直接蒸铵雨疆不同靶材，不需特 地l旖靶材舆搏鼋材料混合，鼋檀也能成功引弧而形成鼋浆作南加熟源水合成氮化硼奈米管，蓝且以 此新裂稃裂侑奈米级氮化硼奈米管，分剧探封在不同的唯力下舆靶材成分添加钉墨或端封氮化硼奈 米管成畏影簪及结耩的特性。 2．寅验方法 本研究使心鼋綮鼋弧泰加熟源，藉由氟凝合成法合成氮化硼奈米管；系统参数役射如表～所示。 裂程材料捣容易取得、成本鞍低的氧化硼粉末作鹅前趣物，啦使用氮氟做羯反庶氯髓，分别以彳i墨 棒及鳊堍作藕撙鼋鼋槌蒸骚氧化硼靶材，彳i墨棒及筠堍尊鼋鼋梗必须先行加I：表面成平面，避免放 鼋表面不均匀造成放鼋凼摊。同一捣本寅骆没侑主鹘之示意同，鼋浆檎髓羯水冷式的鼋浆檎，氟髓 流缝鼋浆檐髓内正负两棰之同的直流蓬弧，缝遇鼋弧的高温分裂耦带鼋的热雒子蒸裴靶材，北结合 一套氟髓撙流系统控制遣入腔鹘内氮氯的含量，配合後方的真空装置以维持裂撑燃力的程定；粉末 收集系统(cold．trap)捣一倜表面缀遇硬化魔理的中空不鳙铜可旋帱容器，袒面需填充液恁氮，作捣 冷御粉木用。 埸赣射捕描式鼋子颡微镜fFEG．SEM，横型稳LEO 1530)作耦奈米管的表面形貌靓察：x光统射 Sience 俄(XRD，樾型捣MACM30．SHF)作羯氮化硼的相憋缢定：穿透式鼋子颞微豌(TEM，横刑羯 GX)缢定化合物舆其含量比例。 spectrum 第六届海峡两岸超微颗粒学术研讨会 表一、寅验裂程参敷设针。 原料 撵鼋鼋梗 寅驻蹙力 鼋流 760To盯 600Ton． Graphite B203 400T0rr．50A 200Tbrr．