^57Fe注入氧化锆陶瓷注入层结构的研究.pdfVIP

维普资讯 第 l1卷 第 2期 无 机 材 料 学 报 V0l l1 NO．2 1996年 6月 JournalofInorganicMateriMs June，1996 57lee注入氧化锆 陶瓷注入层结构 的研 究 ～ 王国梅 江 冰 恽怀顺 李兴丹 吴代华 ． ： 一 。 (武汉工业 大学材料工程 系 武汉 430070) 杨 生 荣 (中国科学 院兰 州化 物理研 。究所 兰 州 730ooo) 摘 要 对氧化钇部分稳定氧化锆在室温下进行 了盯 离子注入和热退火处理．应用Rutherford 背散射技术 (PmS)，喇曼 (]~man)光谱和 X射线光 电子能谱 (XPS)等方法研究了未经退 火和退火 的离子注入样 品中 的纵 向浓度 分布 、注入层 中各离子 的化学结合状态及注 入 层 的结构． 关键 词童 结构 乍 ¨ 、 往 葛狂 1 引言 在 Y203一ZrO2系统 中，Y2o3部分稳定 ZrO2陶瓷是一类十分重要 的陶瓷材料．文献 1【． 21报道可 以通过铁掺 杂改善 ZrO2基 固溶体结构和性质 ，使之在结构上 、电学上和力学上 获得应用 ．近年来，人们认识到利用离子注入掺杂及热退火改变 ZrO2陶瓷表面 的成分和结 构 ，可以有效地’提高材料表面 的各种性能 【 ．离子注入是一种非平衡过程 ，将产生高浓度 缺 陷，形成过饱和 固溶体 ，产生新 的沉淀 相，以及注入离子可能具有不 同的价态或者与基 体元素键合生成新化合物等，将使材料表面具有优 良的导 电性 、韧性或耐磨性 ，对扩大其 应用具有十分重要 的意义． 本 文主要应用 RBS、 XPS和 Raman光谱方法对 注入 样 品中 Fe 浓度 分布 、注入 层 结 构及 Fe、zT、o三 种 离子 的存在 状 态进行探 讨，分析样 品退 火 前后注入层 的变 化 情况． 2 实验 2．1样 品制备 以添加 5m0J％Yo3的ZrO2为原料 ，配料后经球磨 、注浆成型、素烧 、切割修坯等 工艺 过程 制成 素坯 后，于 1800。C烧 结 ． 制得样 品单面磨平，并依次用不 同级别 的金刚石研磨膏，把样 品抛光成镜面 ，然后分别 用酒精 、丙酮进行超 声清洗 ，待 用． 2．2 离子注入 用 150keY金属离子注入机，注入元素为Fe注入能量为 140keV，注入剂量为 2×10”ions／cm。 采用考夫曼离子源，真空度为 3066x10-Pa，束流为 150~200#A 离子注入后 ，有一半样 品在 N2气氛 中和 1200。C温度下保温 05h进行热退火处理 ． 2．3 测 试 ’1999年 1月 5 日收到初稿 ， 2月 23 日收到修 改稿 中国科学 院兰州化学物理研究所固体润滑开放研 究实验 室 资助项 目 维普资讯 314 无 机 材 料 学 报 n 卷 在 3SDH 串列静 电加速器离子 束 分析装置上 ，分别对 未注入 ZrO2样 品、未经退 火和退火 的Fe+注入 ZrO2样 品进行 了RBS测 定．用 He一束 能量 为 2MeV，真 空度优 于 133~10 Pa- 在 ESCALAB MKII型光 电子 能谱 仪 上 、测 定 了 Fe 注入 ZrO2样 品的 XPS谱 ·使用 MgKa