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维普资讯 第 23卷 第 4期 无 机 材 料 学 报 Vo1．23．NO．4 2008年 7月 JournalofInorganicMaterials Ju1．．2008 文章编号：1000—324X(2008)04—0753—05 6H—SiC单晶表面ZnO薄膜的制备及其结构表征 孙 柏 一，李锐鹏 ，赵朝阳 ，徐彭寿 ，张国斌 ， 潘国强 ，陈秀芳 3，徐现 刚3 (1．中国科学技术大学 国家同步辐射实验室，合肥 230029；2．中国科学院 合肥智能机械研究 所，合肥 230031：3．山东大学 晶体材料 国家重点实验室，济南 250100) 摘 要： 利用脉冲激光淀积 (PLD)技术在 6H—SiC单