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a—C：H（N）薄膜的制备及性能.pdfVIP

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  • 2015-08-22 发布于未知
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a—C：H（N）薄膜的制备及性能.pdf

    无机材料学报

    维普资讯 第 14卷 第 4期 无 机 材 料 学 报 Vol 14，No 4 1999年 8月 Joux．aiof[noxgankcM aterials Aug，1999 匕b a_c：H(N)薄膜的制备及性能 b＼ 壶岳 里程糸重毫州谢长生 了弓 (华中理I大学激光技术 国家重点实验室 武汉 430074) 0 、 乙 摘 要 采用射频 一直流等离子化学气相沉积法用C2H2、N2和 Ar组成的混合气体制备 a-C：H(N】

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