B3N3H6微波等离子体增强化学气相沉积B—N薄膜.pdfVIP

维普资讯 第 加 卷 第 1期 无 机 材 料 学 报 VD】．10．N0．1 1995年 3月 Journ~1ofInorganicM aterials M arch．I995 B3N3H6微波等离子体增强化学气相沉积B-N薄膜 ‘ 被灿连 ～ 调 3 增强 襁 轵 罨／_擒解一一 耍 BN 以其卓越的理化性质在机械 、电子等领域具有广 应用前景．特别是 c-BN的起高 硬度、高导热率和 良好的高温化学稳定性，用于切削工具性能优于金喇石．近年来，BN薄 腾虿 膜越来越受到国内外学术界的重视，在国际上关于这方面的研究非常活跃 llJ．目前，BN薄 膜已有多种气相沉积方法，其中采用以BsN3He为代表的无 卤素元素，且含有适量 B、N 元素的原料气至体有突出优冁点 闭，许多沉积工艺取