CuO%2fSiO2复合薄膜的微观结构和发光特性分析.pdfVIP

第24卷 第2期 无 机 材 料 学 报 V01．24．No．2 2009年 3月 JournalofInorganicMaterials Mar．．2009 文章编号：1000—324X(2009)02-0234—05 DOI：10．3724／SP．J．1077．2009．00234 CuO／SiO2复合薄膜的微观结构和发光特性分析 石 锋，李玉国，孙钦军 (山东师范大学物理与电子科学学院，济南250014) 摘 要：采用射频磁控共溅射法在硅衬底上沉积Cu／SiO：复合薄膜，然后在N：保护下高温退火，再于空气中自然冷却氧 化，制备出低维CuO纳米结构，并对其微观结构和光致发光进行研究．退火温度为 1IO0~C时样品中主晶相为立方晶系的 CuO(200)晶面，薄膜样品表面出现纳米线状结构，表面组分主要包括 Cu、O元素，冷却氧化形成CuO／SiO 复合薄膜．