CVD自支撑金刚石薄膜中的宏观织构与微观孪晶.pdfVIP

维普资讯 第 21卷 第 1期 无 机 材 料 学 报 Vo1．21，No．1 2006年 1月 JournalofInorganicMaterials Jan．，2006 文章编号：1000—324X(2006)01—0239—06 CVD 自支撑金刚石薄膜中的宏观织构与微观孪晶 毛卫 民1,2，朱宏喜 1，陈 冷 ，冯惠平 1，吕反修 3 (北京科技大学 1．材料学系；2．新金属材料 国家重点实验室；3．功能材料研究 所 ；北京 100083) 摘 要 ：采用背散射电子取向成像、扫描电镜 、x射线衍射等手段研究了CVD 自支撑金刚石 膜的宏观织构 、微观组织及晶粒取向的演化过程．薄膜制备时的气氛纯度较低，这是 引起本文 金刚石膜 中发现大量孪晶的一个重要原因．杂质原子会降低金刚石的层错能，从而降低孪晶界 的形成障碍，促进孪晶生成．频繁的孪晶导致 {loo)织构转向 {122}织构，并弱化薄膜织构， 使性能趋向各向