Ge—Sb—Te—O相变薄膜的结晶动力学研究.pdfVIP

维普资讯 第 17卷 第 6期 无 机 材 料 学 报 Vo1．17．No．6 2002年 11月 JournalofInorganicM aterials NOV．，2002 文章编号：1000—324X(2002)06—1258—05 Ge．Sb．Te．O相变薄膜的结晶动力学研究 顾 四朋，侯立松 (中国科学院上海光学精密机械研 究所，上海 201800) 摘 要 ：用磁控溅射法制备 了Ge-Sb—Te和 Ge-Sb—Te一0相变材料薄膜，由热处理前后薄膜 的 x射线衍射 (XRD)发现，热处理使薄膜发生了从非晶态到晶态 的相变．通过非晶态薄膜粉末 的 示差扫描量热 (DSC)实验测出不同加热速率条件下的结晶峰温度，并计算了材料的摩尔结晶 活化能、原子激活能和频率因子．根据结晶动力学结晶活化能E判据得出结论为 ：与Ge-Sb—Te 相 比，掺杂氧后的Ge—Sb-Te更容易析晶，具