PCVD法合成的无定形Si3N4纳米粉末和薄膜的红外特性比较.pdfVIP

维普资讯 弟 l2卷 第 3期 无 机 材 料 学 报 V0I_12．No．3 1997年 6月 JournalofInorganicMaterials Jun．．1997 PCVD法合成的无定形 si3N4纳米粉末和薄膜的 红外特性比较。 3r—uj中 海赫 谭~-~寿2洪00。。，1 … … … 铽 1 I ’ j r… 欢、，， 高纯 、超细的纳米粉末的制备，在当前纳米材料科学研究中占据着重要的地位．纳米粉 料的制备合成有多种方法，主要包括物理、化学与机械合成法等．而对于非氧化物陶瓷系 统，国际上正致力于从有机前驱物来制备碳 (氪)化物陶瓷材料． 利用气相法来制备特殊的粉末技术也愈来愈引起注意，与之相应的方法也引起广泛的 研究．PCVD法的优点是能控制化学的