PLZT陶瓷靶材及溅射薄膜的微观结构研究.pdfVIP

I、j／ 维普资讯 第9卷 第 册 ／ 无 机 材 料 学 报 VoL9．No．2 1994年 6月 JournalofInorganicMaterials June．1994 PLZT陶瓷靶材及溅射薄膜的 微观结构研究 芦穗氟 刘兴阶 7『 ， — — 一 林更琪 胡用 时 (华中理工大学固体 电子学系系A~430。74)了了∞∞ ，／，77『- 摘 要 k 研究了铁 电PLZT(7．5／65／35)陶瓷靶材及用射频磁控溅射法制备的相 同组分 陶瓷薄 膜的矿物结构及显微结构 ．实验结果表明，与陶瓷靶材相 比，陶瓷薄膜的结晶取 向发生 了较大的变