Pt／Ti电极的扩散行为及其对铁电薄膜的影响.pdfVIP

维普资讯 ， 第 u 卷 第 3期 ④／ 无机材料学报 Vol 11 Ko．3 1996年 9月 JournalofInorganicM aterials Sept．1996 Pt／Ti电极的扩散行为及其对铁电薄膜的影响 ． 中溉 海 釜 所 陈 - i(一 … … … … i 祝 、… 法 关 键 词 ! ，Pt／Ti皂堡 扩散，壁皇苎璺莹’ ，铂．手带萍孵， 1 引言 铁 电薄膜 由于具有独特 的铁 电性 、压 电性 、光 电性 、热释 电性等 效应，并且 能和半 导体 si片及 GaAs进行集成 ，近年来在不挥发性存储器 、动态存储器 (DRAM) 、光学器件 llJ等方面 的应用 中倍受