SnO2气敏元件烧结工艺与电性能关系的复阻抗分析.pdfVIP

维普资讯 第 15卷 第 5期 无 机 材 料 学 报 V0I 15．No 5 2000年 l0月 JournalofInorganicM aterials Oct．2000 文章编号：10003·24X(2000)05·0822—05 @ sn0。气敏元件烧结工艺与电性能关系的复阻抗分析 2己一 傅 剐 lI2， ． 遗 。，张进修z )f(’～z · 中山大学物酮 。；。广州师范学院转理糸J广州 。。 弓中 、 摘 要 ：采用平面丝 网印刷工艺制各 SnO2厚膜气敏试样，分别在不 同烧结温度和保温时间 下于空气 中烧成 测量试佯的灵敏度和稳定性．并通过复阻抗分析方法 研兜 SnO2气敏元件 烧结工艺和 电性能的关系，探