掺杂SnO2透明导电薄膜电学及光学性能研究.pdfVIP

维普资讯 第 17卷 第 1期 无 机 材 料 学 报 V01．L7 No 1 2002年 1月 JournalofInorganicM er|ak Jan ，％ 02 文章编号：1000．324X(2002)010·131·08 掺杂 SnO。透明导电薄膜 电学及光学性能研究 郭玉忠，王剑华，黄瑞安，王贵青 f昆明理 工大学新材料制备与加工省 重点 实验室 ，昆明 650093) 摘 要 ：通过实验视I量 sol-gel工艺制备的 sb掺杂 Sn02薄膜载流子浓度 、迁移率 、电阻率 、 膜厚，紫外 ．可见光 区透射率 、反射率等性质，详细研究丁 sb掺杂 SnO 薄膜电学与光学性 能．实验发现 薄膜具有 良好 的透光性和较高导 电性，膜 内载流子浓度高达 10…cm ．电阻 率 ～10 ncm ，透光率高达 90％ ．SnO2膜禁带宽度 E ≈37～380eV