常压乙炔炎焰制备金刚石的生长条件.pdfVIP

维普资讯 第 12卷 第 4期 无 机 材 料 学 报 Vo1．12，No．4 urnalo I aul eri 。 1997年 8月 。 no g Mat Aug．，1997 常压乙炔火焰制备金刚石的生长条件 。]／。√ 猕 电 海王200433) 一 既 要 下 ；e 1 本文用非平衡热力学耦合摸型计算了常压乙热火焰生长金刚石的相图，从理论上得 到金冈I石生长合适的村底温度及气体流量 比条件．不同村底温度下氧气与乙热流量比的 范围是不同的．实验中通常的衬底温度在 1000~1250K之间，此时合适的流量 比范围应为 0I8—1．1．衬底温度太低，不论流量比为何值，都不能生长金刚石．不同气体流量比时，村底 温度的范围也不相同，当流量 比接近于 l时，衬底温度的范围最宽j流量比偏离 l时，村 底温度 的范围