超声辅助SILAR法生长纳米晶ZnO多孔薄膜及其光学性能研究.pdfVIP

维普资讯 第20卷 第4期 无 机 材 料 学 报 Vo1．20，NO．4 2005年 7月 JournalofInorganicMaterials Ju1．，2005 文章编号：1000—324X(2005)04—0965—06 超声辅助SILAR法生长纳米晶ZnO多孔薄膜 及其光学性能研究 高相东，李效民，于伟东 (中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室，上海 200050) 摘 要：将超声辐照技术引入连续离子层吸附与反应 (SILAR)法，提出超声辅助连续离子 层吸附与反应 (UA—SILAR)液相成膜技术．以锌氨络离子 ([Zn(NHa)4]计)溶液为前驱体，在 90。C下沉积得到ZnO薄膜，对其晶体结构、微观形貌、透过光谱和光致发光性能进行表征， 并考察了超声辐照和沉积循环次数对薄膜形貌、结构和光学特性的影响．结果表明，所得薄